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나노 단위의 유전탄성체(dielectric elastomer) 박막 및 전극이 순차적으로 적층된 적층형 폴리머 액추에이터를 제조하는 방법으로서,나노 단위의 유전탄성체 분자가 용해되어 있는 유전탄성체 용액에 고전압을 인가하여 유전탄성체 분자를 하전시키는 제1 단계와,상기 하전된 유전탄성체 분자를 스핀 코팅기의 컬렉터 스크린에 분사하는 제2 단계와,상기 스핀 코팅기의 컬렉터 스크린에 부착된 유전탄성체 분자를 고속으로 회전시키서, 나노 단위의 유전탄성체 박막을 형성하는 제3 단계와,상기 형성된 유전탄성체 박막을 경화시키는 제4 단계와,상기 경화된 유전탄성체 박막 상에 전극을 적층하는 제5 단계와,상기 제1 내지 제5 단계를 반복하여, 유전탄성체 박막 및 전극을 순차적으로 적층하는 제6 단계를 포함하는 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제3 단계는 고속 회전에 의해 두께가 100 나노미터 이하인 유전탄성체 박막을 형성하는 것인 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 단계는1종의 유전탄성체 재료에 유기 용매를 첨가하여 상기 유전탄성체 용액을 준비하는 것인 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 단계는2종 이상의 유전탄성체 분자에 각각 유기 용매를 첨가하고, 이를 혼합하여 상기 유전탄성체 용액을 준비하는 것인 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 제3 단계는상기 하전된 2종 이상의 유전탄성체 분자 간에 중합 반응이 일어나도록 유도하는 것인 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법
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전왜 변형되는 나노 단위 유전탄성체 박막을 제조하는 장치로서,나노 단위의 유전탄성체 분자가 용해되어 있는 유전탄성체 용액을 저장하고, 이를 분사하는 분사기와,상기 분사기에 저장된 유전탄성체 분자를 하전시키는 고전압 발생기와, 상기 하전된 유전탄성체 분자와 전위차가 유발되어, 상기 분사기로부터 분사되는 하전 유전탄성체 분자가 부착되며, 그 유전탄성체 분자를 고속으로 회전시켜서 나노 단위의 유전탄성체 박막을 형성하는 스핀 코팅기를 포함하는 나노 단위 유전탄성체 박막의 제조 장치
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제6항에 있어서, 상기 스핀 코팅기는 두께가 100 나노미터 이하인 유전탄성체 박막을 형성하도록 회전 속도 및 회전 시간이 제어되는 것인 나노 단위 유전탄성체 박막의 제조 장치
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제7항에 있어서, 상기 분사기는 2종 이상의 유전탄성체 분자가 혼합된 유전탄성체 용액을 저장하며,상기 스핀 코팅기는 고속 회전에 의하여 상기 하전된 2종 이상의 유전탄성체 분자 간에 중합 반응이 일어나도록 유도하는 것인 나노 단위 유전탄성체 박막의 제조 장치
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