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스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치

  • 기술번호 : KST2015148768
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치에 관한 것으로, 그 목적은 볼스크류의 대각방향 또는 수직방향으로 발생되는 이동블록의 변위에 의한 스테이지의 위치결정 오차를 제거함과 더불어 충분한 강성을 구현할 수 있는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 스테이지장치에 구비된 구동부의 볼스크류와 대상물이 놓여지는 스테이지를 결합하는 스테이지와 구동부의 결합장치에 있어서, 상기 볼스크류의 회전에 의해 이동하는 이동블록의 이동방향 전후 양측에서 이동블록의 전/후면과 각각 접촉하여 슬라이딩 되게 상호 대칭구조를 갖도록 배치된 한쌍의 제1 결합부들; 및 상기 각각의 제1 결합부와 볼조인트구조에 의해 일단이 연결되어 제1 결합부를 회동가능하게 지지하고, 나머지 타단이 스테이지에 형성된 브라켓에 고정되는 한쌍의 제2 결합부들;로 구성된 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.제1 결합부, 제2 결합부, 스테이지, 볼스크류, 불확정 오차
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/02 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01) H01L 21/00 (2011.01)
CPC G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01)
출원번호/일자 1020060062358 (2006.07.04)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0663699-0000 (2006.12.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍원표 대한민국 인천 연수구
2 강은구 대한민국 서울 영등포구
3 최헌종 대한민국 서울 강남구
4 이석우 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2006-0478897-58
2 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0481829-35
3 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination		 2006.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0492756-58
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0061316-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0552563-86
7 의견서
Written Opinion		 2006.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0730043-30
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0730055-88
9 의견서
Written Opinion		 2006.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0830909-87
10 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0721967-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스테이지장치에 구비된 구동부의 볼스크류와 대상물이 놓여지는 스테이지를 결합하여 볼스크류의 대각방향 또는 수직방향으로 발생되는 변위에 의한 스테이지의 위치결정 오차를 해소함과 더불어 구동부에 의해 스테이지가 이동되게 하는 스테이지와 구동부의 결합장치에 있어서,상기 볼스크류의 회전에 의해 이동하는 이동블록의 이동방향 전후 양측에서 이동블록의 전/후면과 각각 접촉하여 슬라이딩 되게 상호 대칭구조를 갖도록 배치된 한쌍의 제1 결합부들; 및상기 각각의 제1 결합부와 볼조인트구조에 의해 일단이 연결되어 제1 결합부를 회동가능하게 지지하고, 나머지 타단이 스테이지에 형성된 브라켓에 고정되는 한쌍의 제2 결합부들;로 구성된 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제1 결합부들은,상기 이동블록의 전/후면에 접촉하여 슬라이딩 되는 다수개의 볼들이 구비된 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제1 결합부들은,상기 이동블록의 전/후면에 접촉하여 슬라이딩 되는 다수개의 롤러들이 구비된 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 이동블록은,상기 볼스크류에 결합되어 이동하는 슬라이더에 설치된 피에조 엑츄에이터에 연결되어 이동하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치
5 5
제 1 항 또는 4 항에 있어서,상기 스테이지에 일단에 연결되고, 나머지 타단이 상기 슬라이더측으로 돌출된 이동블록의 끝단에 연결된 밸런스 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치
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패밀리정보가 없습니다
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