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중앙에 구동부가 구비된 나노스테이지

  • 기술번호 : KST2015148857
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스테이지에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 작업대가 이동할 때에 미세한 뒤틀림이 발생하지 않아 더욱 정밀한 작업이 가능한 스테이지를 제공하기 위하여, 본 발명은 가공 또는 측정 대상물이 고정되는 작업대, 상기 작업대를 이동 가능하게 지지하는 베이스, 상기 작업대의 무게중심을 지나도록 구비되어 상기 작업대를 이송시키는 구동부를 포함하여 이루어지는 중앙에 구동부가 구비된 나노스테이지를 제공한다 스테이지, 무게중심, 뒤틀림
Int. CL H01L 21/68 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01)
출원번호/일자 1020080041203 (2008.05.02)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0974874-0000 (2010.08.03)
공개번호/일자 10-2009-0115371 (2009.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20100811) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.02)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강은구 대한민국 서울 영등포구
2 홍원표 대한민국 인천 연수구
3 이석우 대한민국 충청남도 천안시
4 최헌종 대한민국 서울특별시 강남구
5 이상무 대한민국 경기도 용인시 기흥구
6 남경태 대한민국 경기도 용인시 기흥구
7 유영선 대한민국 경기 용인시 수지읍 풍덕천리 수지

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0317256-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.10.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0061425-21
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0018103-44
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0158667-75
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0158668-10
10 등록결정서
Decision to grant		 2010.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0281753-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가공 또는 측정 대상물이 고정되는 작업대; 상기 작업대를 이동 가능하게 지지하는 베이스; 상기 작업대의 이동방향을 따라 구비되며 상기 작업대의 무게중심을 지나도록 상기 작업대에 치합된 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하여 이루어져, 상기 구동모터의 회전에 따라 상기 작업대를 이송시키도록 이루어지는 구동부; 상기 작업대와 마주보는 베이스의 상면의 상기 볼 스크류가 위치되는 지점의 연직 상부의 어느 한 지점에 설치되는 엔코더와, 상기 작업대의 상기 엔코더와 마주보는 면에 구비되는 그리드를 포함하여 이루어져, 상기 작업대가 이송된 양을 측정하는 변위 검출부; 를 포함하여 이루어지는 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 작업대는 직선운동 하는 것을 특징으로 하는 스테이지
3 3
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4 4
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5 5
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7 7
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8 8
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9 9
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10 10
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.