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제 1 물질로 이루어진 지지부와;
상기 지지부에 형성되고, 상기 제 1 물질보다 경도(hardeness)가 큰 제 2 물질로 이루어진 스탬핑부와;
상기 스탬핑부에 코팅된 점착(粘着) 방지용 코팅막으로 구성된 다층 스탬프
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제 1 항에 있어서,
상기 스탬핑부는,
상기 지지부에 접착제를 이용한 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 스탬프
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3
제 2 항에 있어서,
상기 접착제는,
열경화성 또는 자외선 경화성 접착제인 것을 특징으로 하는 다층 스탬프
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제 1 항에 있어서,
상기 제 1 물질은 탄성력을 갖는 물질인 것을 특징으로 하는 다층 스탬프
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5
제 1 물질로 이루어진 지지부를 준비하는 단계와;
상기 제 1 물질보다 경도가 큰 제 2 물질로 이루어진 스탬핑부를 준비하는 단계와;
상기 스탬핑부에 코팅된 점착 방지용 물질을 코팅하여 점착 방지용 코팅막을 형성하는 단계와;
상기 스탬핑부를 접착제를 이용한 상기 지지부에 접착시키는 단계로 이루어진 다층 스탬프의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,
상기 점착 방지용 코팅막은,
자기 조립 모노층(Self assembled monolayer)인 것을 특징으로 하는 다층 스탬프의 제조 방법
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7
제 5 항에 있어서,
상기 제 1 물질은 탄성 고무이고,
상기 제 2 물질은 금속, 실리콘과 퀄츠 중 하나인 것을 특징으로 하는 다층 스탬프의 제조 방법
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8
제 1 물질로 이루어진 지지부와, 상기 지지부에 형성되고 상기 제 1 물질보다 경도가 큰 제 2 물질로 이루어진 스탬핑부와, 상기 스탬핑부에 코팅된 점착 방지용 코팅막으로 이루어진 다층 스탬프와;
상기 다층 스탬프의 지지부를 진공 흡착시키는 복수개의 진공 흡입공들이 상부에 노출되어 있는 지지대와;
상기 복수개의 진공 흡입공들과 연결되어 있는 진공 펌프와;
상기 스탬핑할 대상물을 가압할 수 있으며, 광원이 부착된 롤러로 구성된 다층 스탬프가 장착된 나노 임프린트 시스템
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제 8 항에 있어서,
상기 롤러에,
상기 광원의 광이 외부로 방출되는 것을 방지할 수 있는 반사판이 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 스탬프가 장착된 나노 임프린트 시스템
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10
나노 임프린트할 경화용 막이 형성된 표시 패널을 준비하는 단계와;
제 1 물질로 이루어진 지지부와, 상기 지지부에 형성되고 상기 제 1 물질보다 경도가 큰 제 2 물질로 이루어진 스탬핑부와, 상기 스탬핑부에 코팅된 점착 방지용 코팅막으로 이루어진 다층 스탬프를 준비하는 단계와;
상기 다층 스탬프를 상기 경화용 막에 가압하여, 상기 표시 패널 상부에 형성된 패턴을 형성하는 단계와;
상기 표시 패널 상부에 형성된 패턴을 경화시키는 단계와;
상기 다층 스탬프를, 상기 표시 패널 상부에 형성된 패턴으로부터 이탈시키는 단계로 이루어진 다층 스탬프를 이용한 표시 패널에 나노 임프린팅하는 방법
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제 10 항에 있어서,
상기 다층 스탬프는 플렉서블(Flexible)한 것을 특징으로 하는 다층 스탬프를 이용한 표시 패널에 나노 임프린팅하는 방법
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제1항에 있어서,
표면에 I형 형상의 돌출부가 구비되고, 평판 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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제1항에 있어서,
표면에 T형 형상의 돌출부가 구비되고, 평판 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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제1항에 있어서,
표면에 L형 형상의 돌출부가 구비되고, 평판 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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15
제1항에 있어서,
표면에 I형 형상의 돌출부가 구비되고, 원통 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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16
제1항에 있어서,
표면에 T형 형상의 돌출부가 구비되고, 원통 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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17
제2항에 있어서,
표면에 L형 형상의 돌출부가 구비되고, 원통 형상인 것을 특징으로 하는 스탬프
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제12항에 따른 스탬프를 이용하여 자동 검사 기능에 의한 미완성된 형상의 인식과 이를 보완하기 위한 구성 요소 패턴의 조합을 자동적으로 결정하는 극미세 형상 형성방법
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19
제13항에 따른 스탬프를 이용하여 기존 형상과 겹치게 되는 부분에서 유연한 라인 패턴 구성을 위한 잉크량의 조절을 위한 패턴 구조를 작게 하는 것을 특징으로 하는 극미세 형상 형성방법
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제14항에 따른 스탬프를 이용한 극미세 형상 형성방법
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제15항에 따른 스탬프를 이용하여 캐드 도면 입력을 이용한 요구 형상을 입력 받고 자동 또는 수동으로 형상을 형성시키는 것을 특징으로 하는 극미세 형상 형성방법
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22
제18항에 따른 스탬프를 이용하여 단일 기계에서 복수로 설치하여 실시간으로 조합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 극미세 형상 형성방법
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23
제19항에 따른 스탬프를 이용한 극미세 형상 형성방법
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제20항에 따른 스탬프를 이용한 극미세 형상 형성방법
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제 22항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 실시간으로 간극을 조절하여 임의의 형상을 조합하는 것을 특징으로 하는 극미세 형상 형성방법
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26
제25항에 있어서, 스탬프 말단 부분을 마름모 형태 또는 삼각형 형태를 사용하는 극미세 형상 형성방법
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