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마이크로 블레이드 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015148887
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그리트와 본드재를 혼합하여 슬러리를 제조하는 슬러리 제조단계와; 상기 슬러리를 테이프 캐스팅하여 예비성형 필름을 제조하는 테이프 캐스팅 단계와; 상기 예비성형 필름을 펀칭하여 예비성형체를 제조하는 펀칭단계와; 상기 예비성형체의 양측면을 연마하여 마이크로 블레이드를 제조하는 연마단계;를 포함한다. 본 발명은 그리트와 본드재를 혼합하여 형성된 슬러리를 테이프 캐스팅 머신에 의해 테이프 캐스팅하여 원하는 두께의 예비성형필름을 제조하고, 이를 펀칭, 연마하여 마이크로 블레이드를 제조하게 되므로, 마이크로 블레이드의 좌/우 두께편차가 발생되는 것이 방지되고, 이로 인해 연마량이 감소되며, 제조단가를 낮출 수 있는 장점이 있다. 웨이퍼, 절단, 블레이드, 그리트, 본드재, 테이프 캐스팅, 펀칭
Int. CL B26D 1/00 (2006.01) B26D 1/14 (2006.01) B29C 41/28 (2006.01)
CPC B26D 1/0006(2013.01) B26D 1/0006(2013.01)
출원번호/일자 1020080130603 (2008.12.19)
출원인 한국생산기술연구원, 박화진
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0071774 (2010.06.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 박화진 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재설 대한민국 광주광역시 광산구
2 손현택 대한민국 광주광역시 광산구
3 박화진 대한민국 경기 화성군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0875898-29
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0005770-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2010-0047669-49
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0476370-37
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0864051-87
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0060924-29
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.01.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0060935-21
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0120133-64
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그리트와 본드재를 혼합하여 슬러리를 제조하는 슬러리 제조단계와; 상기 슬러리를 테이프 캐스팅하여 예비성형 필름을 제조하는 테이프 캐스팅 단계와; 상기 예비성형 필름을 펀칭하여 예비성형체를 제조하는 펀칭단계와; 상기 예비성형체를 소결하여 경화시키는 소결단계와; 경화된 상기 예비성형체의 양측면을 연마하여 마이크로 블레이드를 제조하는 연마단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 절단용 마이크로 블레이드의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 그리트는 텅스텐카바이드, 니켈, 다이아몬드, 주석, 구리중 적어도 어느 하나로 이루어지고, 상기 본드재는 바인더, 레진을 포함하며, 상기 슬러리는 용매로서 톨루엔, 에탄올이 더 포함되어 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 절단용 마이크로 블레이드의 제조방법
3 3
청구항 제1항의 방법에 의해 제조된 웨이퍼 절단용 마이크로 블레이드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.