| 요약 |
본 발명은 서로 다른 두면에 형성된 구멍 크기 및 수직거리 측정장치에 관한 것으로, 그 목적은 축 스테이지를 이용하여 측정팁을 지지하고, 상기 측정팁을 이동시켜 측정하고자 하는 구멍의 내부에 접촉시키되, 측정팁이 구멍에 접촉된 위치에서 각 스테이지가 작동한 거리를 검출하여 구멍의 크기나 구멍간의 수직거리를 측정하도록 함으로써, 측정의 편의성을 제공하고 측정값의 정밀도를 높인 서로 다른 두면에 형성된 구멍 크기 및 수직거리 측정장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 X축 스테이지 유닛과 Y축 스테이지 유닛 및 Z축 스테이지 유닛으로 이루어진 3축 스테이지; 상기 X축 스테이지 유닛에 설치된 제1 스케일; 상기 Y축 스테이지 유닛에 설치된 제2 스케일; 상기 Z축 스테이지 유닛에 설치된 제3 스케일; 상기 Z축 스테이지 유닛에 설치된 측정홀더; 상기 측정홀더에 설치되되, 서로 다른 방향으로 설치된 제1 측정팁과 제2 측정팁; 상기 제1 측정팁이 측정 대상 구멍 내의 서로 다른 3점에 접촉할 때, 상기 제1 스케일과 제3 스케일로부터 신호를 전달받거나 또는 상기 제2 측정팁이 측정 대상 구멍 내의 서로 다른 3점에 접촉할 때, 상기 제2 스케일과 제3 스케일로부터 신호를 전달받아 측정팁이 접촉한 3점에 대한 좌표값을 얻고, 상기 3점의 좌표값을 이용해 구멍의 크기 및 중심좌표를 계산하며, 각 구멍의 중심좌표값을 이용하여 구멍간의 수직거리를 계산하는 처리장치로 구성된 서로 다른 두면에 형성된 구멍 크기 및 수직거리 측정장치에 관한 것을 기술적 요지로 한다. 3축 스테이지, 측정팁, 웨이트 발란스, 처리장치
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