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마이크로 플루이딕 칩에 있어서,
주화성 샘플용액이 주입되는 제 1채널과 세포용액이 주입되는 제 2채널이 각각 구비되는 상부 기판;
상기 제 1채널과 제 2채널로부터 각각 주화성 샘플(chemoeffector) 용액과 세포 용액을 전달받아 이를 서로 접촉시키기 위한 소정 깊이의 정션채널(junction channel)이 구비되는 하부 기판;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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제 1항에 있어서, 상기 정션채널은,
세포 크기의 90 내지 110%의 깊이를 가지는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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3
제 1항에 있어서, 상기 상부 기판은,
투명 실리콘 폴리머(PDMS)를 포함하는 폴리머 재질인 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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4
제 1항에 있어서, 상기 하부 기판은,
석영이나 유리기판 중 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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제 1항에 있어서, 상기 상부 기판은,
상기 정션채널 내부의 공기를 외부로 배출시키기 위해 연통되는 에어벤트를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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6
제 1항에 있어서, 상기 상부 기판은,
주화성 샘플용액과 세포용액을 각각 상기 제 1채널과 제 2채널에 제공하기 위해 연통된 제 1채널 저장부와 제 2채널 저장부가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩
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7
마이크로 플루이딕 칩 제조방법에 있어서,
몰딩 원판을 통해 주화성 용액이 주입되는 제 1채널과 샘플용액이 주입되는 제 2채널을 형성시켜 상부 기판을 제조하는 단계;
상기 제 1채널과 제 2채널이 형성된 상부 기판을 몰딩 원판으로부터 이형시키는 단계;
하부 기판에 주화성 용액과 샘플용액이 접촉하는 정션채널을 형성시키는 단계; 및
상기 하부 기판과 상부 기판을 조립하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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제 7항에 있어서, 상기 정션채널은,
세포 크기의 90 내지 110% 깊이로 식각하여 형성시키는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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제 7항에 있어서, 상기 하부 기판은,
상기 하부 기판과 상부 기판을 조립하는 단계 전에 조립 정렬을 실시하기 위해 메탈 박막을 일정 영역 패터닝하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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10
제 9항에 있어서, 상기 메탈 박막은,
100nm 이하의 두께로 패터닝 하는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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제 9항에 있어서, 상기 상부 기판 제조단계는,
펀칭과정을 통해 상기 제 1, 2채널과 연통되는 제 1 채널 저장부와 제 2채널 저장부를 형성시키는 단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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12
제 9항에 있어서, 상기 몰딩 원판은,
MEMS 공정을 이용하여 실리콘을 식각하거나, 후막 감광제를 패터닝하여 몰딩 원판을 제작하되, 상기 상부 기판에 형성될 상기 제 1, 2채널의 깊이를 20 내지 100㎛로 형성되도록 몰딩 원판을 제조하는 것을 특징으로 하는 세포 주화성 검사용 마이크로 플루이딕 칩 제조방법
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