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초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치

  • 기술번호 : KST2015148925
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치에 관한 것으로, 그 목적은 냉각기로 반환되는 반환냉수의 열 회수하여 도입외기의 가열 및 냉각에 사용하도록 함으로써 공조부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시키고, 또 도입외기로 분사되는 초순수의 효과적인 관리를 통해 에어와셔에 의한 도입외기의 오염을 방지할 수 있는 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 도입외기 중의 이물질을 여과하기 위한 필터를 구비하고, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸으로 유입되는 도입외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조절하는 외기공조장치에 있어서, 상기 클린룸을 순환하는 공기의 냉각에 사용된 후, 냉각기로 반환되는 반환냉수를 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 다수개의 순환코일유닛; 상기 순환코일유닛과 함께 배치되어 도입외기로 초순수를 분무하는 수분무식 가습장치를 구성하는 에어와셔; 및 상기 에어와셔를 통해 분사된 초순수를 회수하여 재생하는 초순수 여과시스템을 구비하는 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치에 관한 것을 기술적 요지로 한다.외기공조장치, 반환냉수, 초순수, 저장조, 초순수재생모듈
Int. CL F24F 5/00 (2006.01) F24F 7/06 (2006.01)
CPC B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01)
출원번호/일자 1020090049079 (2009.06.03)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1113795-0000 (2012.02.01)
공개번호/일자 10-2010-0130406 (2010.12.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유경훈 대한민국 서울특별시 강남구
2 신대건 대한민국 서울특별시 양천구
3 황광호 대한민국 서울특별시 양천구
4 강신영 대한민국 경기도 안양시 만안구
5 손승우 대한민국 서울특별시 구
6 송근수 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0336255-85
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0551598-86
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0225037-63
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0481719-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0575846-01
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0575845-55
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0052396-60
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1
도입외기 중의 이물질을 여과하기 위한 필터(110)를 구비하고, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸(200)으로 유입되는 도입외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조절하는 외기공조장치에 있어서,상기 클린룸(200)을 순환하는 공기의 냉각에 사용된 후, 냉각기(220)로 반환되는 반환냉수를 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 다수개의 순환코일유닛(131,132,133,134);상기 순환코일유닛과 함께 배치되어 도입외기로 초순수를 분무하는 수분무식 가습장치를 구성하는 에어와셔(140); 및상기 에어와셔(140)를 통해 분사된 초순수를 회수하며 에어와셔(140)로 공급될 초순수를 저장하는 저장조(151)와, 상기 저장조(151)에 설치되어 저장된 초순수에 자외선을 조사하는 자외선 조사기(152)와, 상기 저장조(151)에 설치되어 초순수의 오염도를 검출하는 검출수단(153)과, 상기 저장조(151)에 저장된 초순수를 토출하는 펌프(154)와, 상기 검출수단(153)에 의해 초순수가 오염된 것으로 검출되면 펌프(154)로부터 토출되는 초순수를 공급받아 재생하도록 이온교환수지가 내장된 초순수재생모듈(155)로 이루어진 초순수 여과시스템(150)을 구비하는 것을 특징으로 하는 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 순환코일유닛(131,132,133,134)은 4개가 제공되며, 이 중 3개의 순환코일유닛(132,133,134)은 에어와셔(140)와 함께 설치되어 수분무식 가습장치를 구성하고, 나머지 하나의 순환코일유닛(131)은 수문무식 가습장치의 전단에 위치하도록 설치되되, 가장 후단에 위치한 순환코일유닛(134)에 반환냉수가 공급되어 전단에 위치한 순환코일유닛(131,132,133)들을 순차적으로 순환한 뒤 냉각기(220)로 반환되도록 구성된 것을 특징으로 하는 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치
4 4
도입외기 중의 이물질을 여과하기 위한 필터(110)가 구비되고, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸(200)으로 유입되는 도입외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조절하는 외기공조장치에 있어서,상기 클린룸(200)으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 통해 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 다수개의 순환코일유닛(131,132,133,134);상기 순환코일유닛과 함께 배치되어 도입외기로 초순수를 분무하는 수분무식 가습장치를 구성하는 에어와셔(140); 및상기 에어와셔(140)를 통해 분사된 초순수를 회수하며 에어와셔(140)로 공급될 초순수를 저장하는 저장조(151)와, 상기 저장조(151)에 설치되어 저장된 초순수에 자외선을 조사하는 자외선 조사기(152)와, 상기 저장조(151)에 설치되어 초순수의 오염도를 검출하는 검출수단(153)과, 상기 저장조(151)에 저장된 초순수를 토출하는 펌프(154)와, 상기 검출수단(153)에 의해 초순수가 오염된 것으로 검출되면 펌프(154)로부터 토출되는 초순수를 공급받아 재생하도록 이온교환수지가 내장된 초순수재생모듈(155)로 이루어진 초순수 여과시스템(150)을 구비하는 것을 특징으로 하는 초순수 여과시스템을 갖는 수분무식 가습장치를 이용한 열회수식 외기공조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 경기도 한국생산기술연구원 전략산업기술개발 첨단 전자산업을 위한 에너지절약형 초청정클린룸 개발