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니켈-코발트-인 삼원합금 무전해 도금액, 이를 이용한 무전해 도금 공정 및 이에 의해 제조된 니켈-코발트-인 삼원합금피막

  • 기술번호 : KST2015148926
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 니켈-코발트-인 삼원합금 무전해 도금액, 이를 이용한 무전해 도금 공정 및 이에 의해 제조된 니켈-코발트-인 삼원합금피막에 관한 것으로, 본 발명에 따른 무전해 도금 공정은 낮은 온도와 중성 pH 영역에서 수행됨에 따라 선택적인 도금피막 형성시 다른 소재에 화학적인 침식 또는 변형을 감소시킬 수 있으며, 본 발명에 따른 니켈-코발트-인 삼원합금 무전해 도금액은 고융점 금속인 코발트를 사용함으로써 도금피막 내부의 구리의 확산을 방지하게 되고 안정한 도금액 상태에서 미세한 입자를 형성하여 치밀한 표면조직을 가지게 되어, 종래의 도금피막에 비해 열적 안정성이 향상되므로, 각종 반도체 및 패키지와 인쇄회로기판에서 유용하게 사용될 수 있다. 구리배선, 무전해 합금도금, 니켈-코발트-인 도금액, 확산방지층, 무전해 도금, 도금 피막
Int. CL C23C 18/31 (2006.01) C23C 18/32 (2006.01)
CPC C23C 18/50(2013.01) C23C 18/50(2013.01) C23C 18/50(2013.01)
출원번호/일자 1020090047808 (2009.05.29)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0129053 (2010.12.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 인천광역시 연수구
2 전준미 대한민국 충청남도 공주시
3 허진영 대한민국 서울시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0327269-13
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0331084-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0070111-25
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0199007-48
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0487767-41
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
황산니켈, 차아인산나트륨 및 황산코발트를 포함하는 무전해 니켈-코발트-인 삼원합금 도금액에 있어서, 상기 무전해 니켈-코발트-인 삼원합금 도금액 1ℓ에 대하여 황산니켈 20 내지 30 g, 차아인산나트륨 20 내지 40 g, 및 황산코발트 5 내지 10 g을 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
2 2
제1항에 있어서, 상기 도금액은 pH 조절제로 암모니아수를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
3 3
제1항에 있어서, 상기 도금액의 pH는 6 내지 8인 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
4 4
제1항에 있어서, 상기 도금액은 착화제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
5 5
제4항에 있어서, 상기 착화제는 락트산, 시트린산 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
6 6
제5항에 있어서, 상기 무전해 니켈-코발트-인 삼원합금 도금액 1ℓ에 대하여 락트산 5 내지 10 g 및 시트린산 5 내지 20 g을 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액
7 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액을 사용하여 구리 배선을 도금하여 구리 표면 상에 확산방지층을 형성하는 단계를 포함하는 무전해 도금 공정
8 8
제7항에 있어서, 상기 무전해 도금 공정은 50 내지 70 ℃의 온도 범위 및 6
9 9
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 니켈-코발트-인 무전해 삼원합금 도금액에 의해 구리 표면 상에 도금된 니켈-코발트-인 삼원합금피막
10 10
제9항에 있어서, 상기 니켈-코발트-인 삼원합금피막의 두께는 30~100nm이고, 상기 합금피막에 공석된 코발트의 함량은 3 내지 5 중량%이고, 공석된 인의 함량은 6 내지 8 중량%인 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-인 삼원합금 피막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.