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미세배선을 형성하기 위한 무전해 화학 동도금용 조성물

  • 기술번호 : KST2015148931
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세배선을 형성하기 위한 무전해 화학 동도금용 조성물에 관한 것으로, 상세하게는 구리염, 환원제, 착화제, pH 조절제, 촉매, 안정제 및 촉진제를 포함하는 무전해 화학 동도금용 조성물에 있어서, 상기 조성물은 계면활성제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 미세배선을 형성하기 위한 무전해 화학 동도금용 조성물에 관한 것이다. 무전해 도금, 구리배선, 트렌치, 비아홀, 충진, 표면장력
Int. CL C23C 18/16 (2006.01) C23C 18/38 (2006.01)
CPC C23C 18/40(2013.01) C23C 18/40(2013.01) C23C 18/40(2013.01) C23C 18/40(2013.01)
출원번호/일자 1020090047520 (2009.05.29)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0128865 (2010.12.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.29)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 인천광역시 연수구
2 허진영 대한민국 서울시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0326089-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0337315-05
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0070106-07
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0199009-39
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0487761-78
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리염, 환원제, 착화제, pH 조절제, 촉매, 안정제 및 촉진제를 포함하는 무전해 화학 동도금용 조성물에 있어서, 상기 조성물은 계면활성제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
2 2
제1항에 있어서, 상기 계면활성제는 포스포클로린(Phosphocholine), 카프릭 이미다졸린 디카르복실레이트(Capric Imidazoline Dicarboxylate), 소디움 라우릴 설페이트(Sodium Lauryl Sulfate), 암모늄 도데실 설페이트(ammonium dodecyl sulfate), 소디움 라우릴 에테르 설페이트(Sodium lauryl ether sulfate), 테트라에틸암모늄 퍼플루오로옥탄설포네이트(Tetraethylammonium perfluorooctanesulphonate), 노닐페놀 에톡실레이트(Nonylphenol Ethoxylates), 소디움 테트라프로필렌벤젠설포네이트(sodium tetrapropylenebezenesulfonates), 소디움 6-도데실벤젠설포네이트(sodium 6-dodecylbezenesulfonates), 소디움 n-도데실 설페이트(sodium n-dodecyl sulfate), 소디움 n-도데실테트라에톡시설페이트(sodium n-dodecyltetraethoxysulfate), 소디움 하이드록시도데칸설포네이트(sodium hydroxydodecanesulfonate), 리그닌 술포네이트 성분(lignin sulfonate component), 알파-설포탤로 메틸 에스터 성분(alpha-sulfotallow methyl ester component), 소디움 도데실테트라에톡시포스페이트(sodium dodecyltetraethoxyphosphate), 소디움 디옥틸 설포석시네이트(sodium dioctyl sulfosuccinate), 소디움 알킬 이세시오네이트(sodium alkyl isethionate), 소디움 라우로일 사르코시네이트(sodium lauroyl sarcosinate) 및 소디움 스테아레이트(sodium stearate)로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
3 3
제2항에 있어서, 상기 계면활성제는 카프릭 이미다졸린 디카르복실레이트(Capric Imidazoline Dicarboxylate), 테트라에틸암모늄 퍼플루오로옥탄설포네이트(Tetraethylammonium perfluorooctanesulphonate), 노닐페놀 에톡실레이트(Nonylphenol Ethoxylates), 소디움 6-도데실벤젠설포네이트(sodium 6-dodecylbezenesulfonates), 소디움 라우로일 사르코시네이트(sodium lauroyl sarcosinate) 및 소디움 스테아레이트(sodium stearate)로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
4 4
제3항에 있어서, 상기 계면활성제는 테트라에틸암모늄 퍼플루오로옥탄설포네이트(Tetraethylammonium perfluorooctanesulphonate)인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
5 5
제1항에 있어서, 상기 구리염은 황산구리, 질산구리, 염화구리(II) 및 포름산구리로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
6 6
제1항에 있어서, 상기 환원제는 포름알데히드, 파라포름알데히드, 글리옥신산, 차인산염(hypophosphate) 및 소디움 보로하이드라이드로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
7 7
제1항에 있어서, 상기 착화제는 에틸렌디아민테트라아세트산, 히드록시에틸에틸렌트리아세트산, 시클로헥산디아민테트라아세트산, 디에틸렌트리아민펜타아세트산, 테트라키스(2-히드록시프로필)에틸렌디아민, 시클로헥산디아민테트라아세틱산디하이드레이트 및 롯셀염으로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
8 8
제1항에 있어서, 상기 pH 조절제는 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄하이드록사이드 및 하이드로설포네이트로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
9 9
제1항에 있어서, 상기 촉매는 니켈설페이트 또는 니켈클로라이드인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
10 10
제1항에 있어서, 상기 촉진제는 페닐머큐리아세테이트, 머큐리아세테이트, 머캡도벤죠트리아졸, 벤조트리아졸, 메소-2,3-디머캡토숙신산, 1,3디페닐-2-티오우레아, 티오우레아, 피리딘 및 소듐카보네이트로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
11 11
제1항에 있어서, 상기 안정제는 포탈슘페로시아네이드, 소듐시아네이드, 포탈슘시아네이드, 탈륨나이트라이트로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
12 12
제1항에 있어서, 상기 무전해 화학 동도금용 조성물 1ℓ에 대하여, 상기 구리염은 5 내지 30g, 상기 환원제는 5 내지 30 ml, 상기 착화제는 50 내지 100 g, 상기 pH 조절제는 10 내지 20 g, 상기 촉매는 1 내지 10 g, 상기 안정제는 1 내지 10 g, 상기 촉진제는 1 내지 10g, 및 상기 계면활성제를 1000 내지 2000 ppm을 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
13 13
제12항에 있어서, 상기 무전해 화학 동도금용 조성물 1ℓ에 대하여, 상기 구리염은 5 내지 15g을 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 화학 동도금용 조성물
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패밀리정보가 없습니다
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