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아세트산 코발트 또는 황산 코발트, 텅스텐산 암모늄 및 차아인산나트륨을 포함하는 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제1항에 있어서,상기 도금액은 착화제로 시트린산 나트륨 및 pH 안정제로 보릭산(Boric Acid)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제2항에 있어서, 상기 도금액은 첨가제를 더 포함하고, 상기 첨가제는 Sn, Zn, Mg, Pb, Cd 중 어느 하나를 포함하는 금속염, NaSCN, KSCN 및 이의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제3항에 있어서, 상기 첨가제는 0
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제3항에 있어서, 상기 아세트산 코발트 또는 상기 황산 코발트의 농도는 10 내지 20 g/ℓ이며, 상기 텅스텐산 암모늄의 농도는 5 내지 10 g/ℓ이며, 그리고 상기 차아인산나트륨의 농도는 20 내지 40 g/ℓ인 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제5항에 있어서, 상기 시트린산 나트륨의 농도는 20 내지 60 g/ℓ이며, 상기 보릭산의 농도는 약 30 g/ℓ인 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제6항에 있어서, 상기 도금액의 pH는 수산화 나트륨에 의해 조절되며 7
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제6항에 있어서, 텅스텐산 암모늄은 수산화 나트륨 용액에 용해시킨 후 이온 형태로 첨가되는 것을 특징으로 하는, 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액을 사용하여 금속을 도금하여 금속 표면 상에 확산방지층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 무전해 도금 공정
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제9항에 있어서, 상기 무전해 도금 공정은 70 내지 90℃의 온도 범위 및 7
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 무전해 코발트-텅스텐-인 삼원합금 도금액에 의하여 금속 표면 상에 도금되는 것을 특징으로 하는, 코발트-텅스텐-인 삼원 합금 피막
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제11항에 있어서, 상기 코발트-텅스텐-인 삼원 합금 피막의 두께는 5 내지 100 nm이고, 상기 합 금피막에 공석된 텅스텐의 함량은 16 내지 23 중량%이고, 공석된 인의 함량은 2 내지 5 중량%인 것을 특징으로 하는 코발트-텅스텐-인 삼원 합금 피막
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