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듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치

  • 기술번호 : KST2015149016
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치에 관한 것으로, 그 목적은 단순한 구성으로서 강성측면에서도 안정된 구조를 갖으며, 스테이지의 전체 영역에 대해서 높은 분해능의 구현이 가능한 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 구동축의 회전에 의해 선형이동 또는 회전이동을 하는 스테이지를 구비하는 나노 스테이지장치에 있어서, 상기 구동축 상에 피에조 엑츄에이터가 설치되어 구동축의 회전 및 피에조 엑츄에이터의 신장에 의해 스테이지가 이동하는 듀얼 작동구조를 구비하는 나노 스테이지장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.스테이지, 구동축, 피에조 엑츄에이터, 듀얼 작동구조
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/02 (2011.01) G09F 3/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/009(2013.01) B82B 3/009(2013.01) B82B 3/009(2013.01)
출원번호/일자 1020070011923 (2007.02.06)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0725990-0000 (2007.05.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강은구 대한민국 서울 영등포구
2 홍원표 대한민국 인천 연수구
3 이석우 대한민국 경기 용인시
4 최헌종 대한민국 서울 강남구
5 남경태 대한민국 경기 안산시 상록구
6 김곤우 대한민국 경기 군포시 산
7 이상무 대한민국 경기 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2007-0109235-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination		 2007.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0188640-08
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0027372-33
6 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0270581-06
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구동축의 회전에 의해 선형이동 또는 회전이동을 하는 스테이지를 구비하는 나노 스테이지장치에 있어서,상기 구동축 상에 피에조 엑츄에이터가 설치되어 구동축의 회전 및 피에조 엑츄에이터의 신장에 의한 듀얼 작동구조에 의해 스테이지가 이동하는 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 피에조 엑츄에이터는,상기 구동축과 구동축의 회전을 지지하는 고정단의 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 피에조 엑츄에이터는,상기 구동축의 끝단이 삽입되는 홈이 일측면에 구비되어 구동축의 끝단 일부를 수용하며, 구동축의 회전을 지지하는 베어링의 외륜과 결합되어 베어링을 통해 구동축과 연결되는 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 피에조 엑츄에이터는,상기 구동축과 구동축의 일단에 배치된 고정단의 사이에 설치되는 제1 피에조 엑츄에이터와, 구동축의 타단에 설치되는 제2 피에조 엑츄에이터로 구성되어 구동축의 양단에 설치된 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제1 피에조 엑츄에이터는 상기 구동축의 끝단이 삽입되는 홈이 일측면에 구비되어 구동축의 끝단 일부를 수용하며, 구동축의 회전을 지지하는 베어링의 외륜과 결합되어 베어링을 통해 구동축과 연결되고,상기 제2 피에조 엑츄에이터는 상기 구동축이 관통하는 홀이 구비되어 구동축 상에 설치되며, 구동축의 회전을 지지하는 또 다른 베어링의 외륜과 결합되어 베어링을 통해 구동축과 연결되는 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 구동축은 볼스크류로 구성되고, 상기 스테이지는 볼스크류의 회전에 의해 이동하는 슬라이더와 연결되어 선형이동을 하도록 구성된 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 구동축은 웜으로 구성되고, 상기 스테이지는 웜에 맞물려 회전하는 웜휠이 구비되어 웜에 의한 웜휠의 회전에 의해 스테이지가 회전이동을 하도록 구성된 것을 특징으로 하는 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.