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압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조방법

  • 기술번호 : KST2015149063
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법은 라미네이팅을 이용하여 탄성판을 제작하는 단계; 펀칭작업으로 탄성판의 일측에 홀을 가공시키는 단계; 라미네이팅을 이용하여 챔버의 측면 및 하측에 스페이서, 채널판 및 노즐판을 형성시키고, 펀칭 작업으로 상기 스페이서에 잉크가 공급될 관통구멍 및 챔버부, 상기 채널판에 챔버부 및 잉크통로를, 상기 노즐판에 테이퍼부 및 노즐을 형성시키는 단계; 상기 탄성판, 스페이서, 채널판 및 노즐판을 얼라인 마크를 이용하여 정렬한 후, 스테킹을 실시하는 단계; 신터링을 실시하는 단계; 상기 탄성판의 상부에 하부전극을 형성시키는 단계; 상기 하부전극의 상부에 압전판을 형성시키는 단계; 상기 압전판의 상부에 상부전극을 형성시키는 단계; 및 상기 상부전극의 상부에 보호층을 형성시키는 단계를 포함한다.따라서, 본 발명에 따른 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조방법은 MEMS 공정으로 제작하기 어려운 형상(TOP이나 Bottom과 연결되지 않으며 중앙에 빈 공간 형성, 외팔보 등)을 종래보다 용이하게 구현시킬 수 있다.또한, 본 발명은 종래의 여러 개의 판을 적층시킴으로써 발생하는 제품의 크기 증가, 공정의 복잡함 및 비용증가를 방지할 수 있다.잉크젯 프린터 헤드, 라미네이팅, 신터링, 압전판
Int. CL B41J 2/045 (2006.01)
CPC B41J 2/045(2013.01) B41J 2/045(2013.01) B41J 2/045(2013.01) B41J 2/045(2013.01) B41J 2/045(2013.01) B41J 2/045(2013.01)
출원번호/일자 1020050131983 (2005.12.28)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0771967-0000 (2007.10.25)
공개번호/일자 10-2007-0069640 (2007.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20071101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강경태 대한민국 서울 서초구
2 박문수 대한민국 경기 용인시
3 강희석 대한민국 경기 용인시 풍덕
4 조영준 대한민국 경기 용인시 구
5 박승인 대한민국 경기 수원시 영통구
6 변철수 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0773359-69
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2006.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-5003321-15
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0701960-50
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0072528-50
5 대리인변경신고서
Agent change Notification
2007.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0072479-11
6 의견서
Written Opinion
2007.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0072529-06
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0199154-13
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.06.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0421211-80
10 의견서
Written Opinion
2007.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0421212-25
11 등록결정서
Decision to grant
2007.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0490421-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
라미네이팅을 이용하여 탄성판을 제작하는 단계;펀칭작업으로 탄성판의 일측에 홀을 가공시키는 단계;라미네이팅을 이용하여 챔버의 측면 및 하측을 구성할 스페이서, 채널판 및 노즐판을 형성시키고, 펀칭 작업으로 상기 스페이서에 잉크가 공급될 관통구멍 및 챔버부, 상기 채널판에 챔버부 및 잉크통로를, 상기 노즐판에 테이퍼부 및 노즐을 형성시키는 단계;상기 탄성판, 스페이서, 채널판 및 노즐판을 얼라인 마크를 이용하여 정렬한 후, 스테킹을 실시하는 단계;신터링을 실시하는 단계;상기 탄성판의 상부에 하부전극을 형성시키는 단계;상기 하부전극의 상부에 압전판을 형성시키는 단계;상기 압전판의 상부에 상부전극을 형성시키는 단계; 및상기 상부전극의 상부에 보호층을 형성시키는 단계를 포함하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 신터링시 온도 제어는 소결온도가 100~300℃가 될 때까지 분(min)당 1~10℃씩 높이는 단계;소결온도가 100~300℃인 상태에서 1~2시간 동안 유지시키는 단계;소결온도가 1050~1200℃가 될 때까지 분(min)당 1~10℃씩 높이는 단계;소결온도가 1050~1200℃인 상태에서 2~3시간 동안 유지시키는 단계; 및소결온도를 분(min)당 1~10℃씩 낮추는 단계를 포함함을 특징으로 하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 노즐은 그 상측부에 테이퍼가 형성되어 상기 챔버에서부터 상기 노즐 시작부까지 상기 챔버의 단면적이 점차적으로 변하는 것을 특징으로 하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 탄성판은 그 재료가 ZrO2 또는 BaTiO3 또는 Al2O3인 것을 특징으로 하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 스페이서, 채널판 및 노즐판은 그 재료가 ZrO2 또는 BaTiO3 또는 Al2O3인 것을 특징으로 하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 탄성판의 높이는 3 ~ 10㎛이고, 상기 스페이서의 높이는 100 ~ 200㎛이며, 상기 채널판 및 노즐의 높이는 20 ~ 40㎛인 것을 특징으로 하는 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법
7 7
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