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대기압 플라즈마 장치를 이용한 탄소나노튜브 숲 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 탄소나노튜브 숲

  • 기술번호 : KST2015149086
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소함유가스 플라즈마를 이용하여 플라즈마 화학기상증착법에 의해 탄소나노튜브를 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 대기압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브 제조 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따르면 대기압 플라즈마를 통해 기체의 전하밀도를 조절하고, 나노튜브의 밀도와 길이를 조절함으로써 구조제어가 가능한 탄소나노튜브를 생산할 수 있는데, 이때 탄소나노튜브의 성장 높이는 종래 기술에 비해 10배 이상 증가시킬 수 있으며, 다중벽 탄소나노튜브를 대량 생산할 수 있다. 대기압, 플라즈마, 화학기상증착법, 탄소나노튜브 숲
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020080131461 (2008.12.22)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0072912 (2010.07.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.22)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최범호 대한민국 광주광역시 광산구
2 이종호 대한민국 광주광역시 광산구
3 박용석 대한민국 서울특별시 강남구
4 박춘성 대한민국 경기도 수원시 영통구
5 김우삼 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0880242-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0008919-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0154922-65
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0242467-89
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0335246-54
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0420936-11
9 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2011.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0049460-25
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0513211-98
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0513220-09
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0060433-05
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소스가스가 플라즈마 상태로 상변화되는 단계; 상기 상변화 된 소스가스 플라즈마와 상기 소스가스 플라즈마 발생 영역에 노출되지 않은 상태의 탄소함유가스가 일정공간에 분사되어 균일한 혼합가스를 형성하는 단계; 및 상기 균일한 혼합가스가 기판에 분사되어 탄소나노튜브 숲이 형성되는 단계를 포함하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 소스 가스는 아르곤, 질소 또는 헬륨 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 500℃ 이상의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 혼합가스에 포함된 탄소함유가스 및 소스가스의 밀도를 조절하여 형성되는 탄소나노튜브 숲의 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 대기압플라즈마 장치는 상기 소스가스와 탄소함유가스가 균일한 혼합가스를 형성하는 일정공간을 형성하는 내부 공간부, 상기 내부 공간부에 소스가스 및 소스가스 플라즈마를 공급하는 소스가스 공급부, 상기 내부 공간부에 탄소함유가스를 공급하는 탄소함유가스 공급부, 및 상기 내부공간부에서 균일하게 혼합된 혼합가스를 외부로 분사하는 혼합가스분사모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 혼합가스를 분사할 때 상기 대기압플라즈마 장치는 30W 이상으로 구동되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 소스가스공급부는 그라운드 전극, RF 전극, 상기 전극들의 이격공간, 및 RF파워를 포함하고 상기 이격공간에 주입된 상기 소스가스를 플라즈마 상태로 상변화시키는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치를 이용 탄소나노튜브 숲 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 기판은 기판홀더에 장착되는데, 상기 기판홀더는 히팅유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 숲 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 기판은 기판홀더에 장착되는데, 상기 기판홀더는 상기 일정공간의 외부에 위치하도록 상기 대기압 플라즈마 장치와 일체 또는 독립적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 숲 제조방법
10 10
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 탄소나노튜브 숲으로서, 성장 밀도가 3 x 107 / cm2 내지 1
11 11
제10항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 숲의 성장밀도는 2 × 1010 / cm2 내지 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.