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제1 면에 기판이 위치되고, 상기 제1 면의 주변 영역에 전극부가 형성되며, 상기 제1 면의 중앙 영역에 상기 전극부에 전기적으로 연결된 평면형 코일이 형성되는 대상 플레이트; 및상기 대상 플레이트의 제1 면의 반대면인 제2 면이 부착되고, 상기 제2 면에 인접되는 내부 영역에 영구 자석이 구비되는 스테이지를 포함하되,상기 전극부로부터 상기 평면형 코일에 공급되는 공급되는 전류의 방향에 따라 상기 평면형 코일과 상기 영구 자석 간에 로렌츠의 힘이 발생되고, 상기 발생된 로렌츠의 힘의 방향에 의하여 상기 대상 플레이트와 상기 스테이지가 부착 또는 분리되고,상기 대상 플레이트 및 평면형 코일 상에는 점착제가 형성되고,상기 대상 플레이트는 필름형인 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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제1항에 있어서,상기 평면형 코일은 상기 대상 플레이트의 제1 면에 인쇄되는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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3
제1항에 있어서,상기 평면형 코일은 원형 또는 다각형 또는 나선형의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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제1항에 있어서,상기 평면형 코일은 상기 대상 플레이트의 제1 면에 대하여 스파이럴 코일 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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5
제1항에 있어서,상기 평면형 코일은 상기 대상 플레이트의 제1 면에 포함되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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6
제1항에 있어서,상기 대상 플레이트는 세라믹 필름으로 이루어진 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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7
제1항에 있어서,상기 기판은 상기 전극부와 이격되는 위치의 평면 형 코일 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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삭제
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제1항에 있어서,상기 대상 플레이트의 제2 면에는 접착제 또는 접착 테이프가 형성되는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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10
제1항에 있어서,상기 전극부로부터 상기 평면형 코일에 제1 방향으로 전류가 공급되면 상기 평면형 코일과 상기 영구 자석간에 인력이 작용하는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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11
제10항에 있어서,상기 평면형 코일과 상기 영구 자석간에 인력이 작용하는 경우 상기 대상 플레이트와 상기 스테이지가 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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12
제10항에 있어서,상기 전극부로부터 상기 평면형 코일에 상기 제1 방향과 반대방향인 제2 방향으로 전류가 공급되면 상기 평면형 코일과 상기 영구 자석간에 척력이 작용하는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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13
제12항에 있어서,상기 평면형 코일과 상기 영구 자석간에 척력이 작용하는 경우 상기 대상 플레이트와 상기 스테이지가 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 로렌츠 힘을 이용한 고정용 척
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