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피검사체를 재치하는 스테이지; 상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체에 방사선을 조사하는 방사선 조사부 및 상기 피검사체를 통과한 상기 방사선을 검출하여 제1 검출 데이터를 생성하는 방사선 검출부를 포함하는 CT (Computed Tomography) 검사부;상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체에 레이저를 조사하는 레이저 조사부 및 상기 피검사체로부터 반사된 상기 레이저를 검출하여 제2 검출 데이터를 생성하는 레이저 검출부를 포함하는 레이저 검사부; 상기 레이저 검출부를 상기 방사선 조사부가 조사한 상기 방사선으로부터 차폐하는 방사선 차폐부; 및상기 제1 검출 데이터 및 상기 제2 검출 데이터를 기초로 상기 피검사체의 이미지를 생성하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 방사선 차폐부는 방사선 차폐실; 및상기 방사선 차폐실의 일측에 구비되어 상기 레이저 조사부가 조사한 상기 레이저 및 상기 피검사체로부터 반사되어 상기 레이저 검출부로 진행하는 상기 레이저를 투과시키는 방사선 차폐창을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제2항에 있어서, 상기 방사선 차폐실은 상기 스테이지 및 상기 CT 검사부를 수용하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제2항에 있어서, 상기 방사선 차폐실은 상기 레이저 검출부를 수용하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제2항에 있어서, 상기 방사선 차폐창은 방사선 차폐 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 스테이지는 상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체를 회전시키는 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 스테이지는 수평 이동 가능한 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 방사선 조사부는 상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체에 대하여 비스듬한 각도로 상기 방사선을 조사하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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스테이지, 방사선을 조사하는 방사선 조사부, 피검사체를 투과한 상기 방사선을 검출하는 방사선 검출부, 레이저를 조사하는 레이저 조사부, 상기 피검사체로부터 반사된 상기 레이저를 검출하는 레이저 검출부 및 상기 레이저 검출부를 상기 방사선 조사부가 조사한 방사선으로부터 차폐하는 방사선 차폐부를 포함하는 검사 장치를 이용한 검사 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지에 상기 피검사체를 재치하는 단계;(b) 상기 피검사체에 상기 방사선을 조사하는 단계; (c) 상기 피검사체를 통과한 상기 방사선을 검출하여 제1 검출 데이터를 생성하는 단계;(d) 상기 피검사체에 레이저를 조사하는 단계;(e) 상기 피검사체로부터 반사된 상기 레이저를 상기 방사선 차폐부를 경유하여 검출하여 제2 검출 데이터를 생성하는 단계; 및(f) 상기 제1 검출 데이터 및 상기 제2 검출 데이터를 기초로 상기 피검사체의 이미지를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제9항에 있어서, 상기 방사선 차폐부는 방사선 차폐실 및 상기 방사선 차폐실의 일측에 구비된 방사선 차폐창을 포함하고, 상기 (e) 단계는 상기 피검사체로부터 반사된 상기 레이저를 상기 방사선 차폐창을 경유하여 수신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제10항에 있어서, 상기 방사선 차폐창은 방사선 차폐 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제9항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체를 회전시키면서 상기 방사선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제9항에 있어서, 상기 (d) 단계는 상기 피검사체가 재치된 상기 스테이지를 수평 이동시키면서 상기 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제9항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 스테이지에 재치된 상기 피검사체에 대하여 비스듬한 각도로 상기 방사선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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