맞춤기술찾기

이전대상기술

비대칭 피라미드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판

  • 기술번호 : KST2015149107
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서, 빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역으로 이루어진 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계; 상기 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향에서 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광을 실시하는 제2 단계; 상기 경사 노광된 기판을 현상하여 비대칭 피라미드 형태를 가진 다수의 포토레지스트를 얻는 제3 단계; 상기 비대칭 피라미드 형상을 가진 포토레지스트가 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제4 단계; 및 상기 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 상기 비대칭 피라미드 형상의 포토레지스트가 양각된 도광판을 성형하는 제5 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.상술한 설명에 따르면 본 발명은 경사 노광 공정에 의해 만들어진 포토레지스터에 의한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈를 제작시킴으로써 간단한 제조 공정으로 미세한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 어레이 패턴을 제조할 수 있으며, 그에 따라 비용을 줄이고 제조 시간을 단축시키는 효과가 있다.경사노광, 비대칭 피라미드형 렌즈, 도광판, 마이크로 렌즈
Int. CL G02F 1/13357 (2006.01)
CPC G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01) G02B 6/0065(2013.01)
출원번호/일자 1020050031602 (2005.04.15)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0658164-0000 (2006.12.08)
공개번호/일자 10-2006-0109371 (2006.10.20) 문서열기
공고번호/일자 (20061215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.15)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황철진 대한민국 경기도 부천시 원미구
2 김종선 대한민국 경기 고양시 덕양구
3 고영배 대한민국 서울 관악구
4 허영무 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김도형 대한민국 서울특별시 종로구 종로 **, **층 ***호(공평동, 종로타워)(김도형특허법률사무소)
2 신재열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(특허법인(유)화우)
3 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)
4 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
5 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2005-0198043-60
2 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0470783-31
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0483355-99
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0764339-80
5 의견서
Written Opinion
2006.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0860234-14
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0860241-34
7 등록결정서
Decision to grant
2006.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0726085-44
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서,빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역으로 이루어진 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계;상기 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향에서 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광을 실시하는 제2 단계;상기 경사 노광된 기판을 현상하여 비대칭 피라미드 형태를 가진 다수의 포토레지스트를 얻는 제3 단계;상기 비대칭 피라미드 형상을 가진 포토레지스트가 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제4 단계; 및상기 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 상기 비대칭 피라미드 형상의 포토레지스트가 양각된 도광판을 성형하는 제5 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 도광판의 비대칭 피라미드 마이크로렌즈 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 마스크는 필름 마스크 또는 크롬 마스크인 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 다수의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 마스크 상의 일방향 연장선상으로 복수 개의 제2 영역들이 배열되되, 이러한 배열이 연속 반복하여 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 도광판의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 마스크의 제2 영역은 사각형으로 제작되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제4 단계는 연속마이크로렌즈가 패턴으로 형성된 기판 상에 금속 박막을 코팅하는 단계와, 상기 금속 박막 상에 니켈 전기 도금을 수행하고 상기 니켈 전기 도금한 영역만을 분리시켜 스탬퍼를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 도광판의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 금속 박막 코팅은 크롬 코팅인 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 금속 박막 코팅은 상기 크롬을 코팅한 후 금을 추가로 코팅하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 음각 스탬퍼를 마스터로 하여, 상기 음각 스탬퍼의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈의 형상이 양각되도록 한 양각 스탬퍼를 제작하는 단계 및 상기 양각 스탬퍼를 금형으로 하여 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈의 형상이 음각된 도광판을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 양각 스탬퍼는 음각 스탬퍼의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 어레이 패턴 위에 니켈 도금을 실시한 후, 이를 분리시켜 제작하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 제조 방법
10 10
복수개의 마이크로렌즈가 형성되는 도광판에 있어서,상기 도광판 상의 일 방향 연장선상으로 비대칭 피라미드 형상을 갖는 복수 개의 마이크로렌즈가 배열되되, 이러한 배열이 연속 반복하여 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈를 갖는 도광판
11 11
제 10항에 있어서,상기 도광판 상에 정렬되는 복수 개의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈들 중 일부의 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈의 방향이 불규칙한 방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈를 갖는 도광판
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2006109921 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2006109921 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.