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기판 가열용 히터

  • 기술번호 : KST2015149146
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 기판 가열용 히터는, 복수개의 핀홀(120)이 관통 형성되는 받침판(100); 받침판(100)의 앞면에 설치되는 열선(200); 및 열선(200)을 고정시키기 위한 열선 고정수단(300);을 포함하여 이루어지며, 열선 고정수단(300)은 받침판(100)의 앞면쪽에서 열선(200)을 누르면서 양쪽단이 핀홀(120)에 삽입되도록 설치되는 누름핀(310); 및 누름핀(310)의 양쪽단이 걸려 누름핀(310)이 핀홀(120)에서 빠지지 않도록 받침판(100)의 뒷면쪽에 설치되는 고정편(320);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 누름핀(310)은 핀홀(120)을 통과하여 장공홀(321)의 장축(L1)에 삽입된 후 누름핀(310)과 고정편(320)의 상대적인 회전에 의하여 절곡부(312a, 312b)가 장공홀(321)의 장축(L1)에 어긋나게 위치함으로써 절곡부(312a, 312b)가 고정편(320)에서 빠지지 않고 걸리도록 설치된다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01)
출원번호/일자 1020120006335 (2012.01.19)
출원인 한국생산기술연구원, 한종구
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0085284 (2013.07.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.19)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 한종구 대한민국 서울특별시 양천구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 변철수 대한민국 서울 강남구
2 한종구 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0052621-03
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.12.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0001195-57
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0133071-05
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0372595-54
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0372603-32
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0660554-62
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2013.10.24 수리 (Accepted) 7-1-2013-0041740-00
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-1064627-60
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2013.11.22 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2013-1064618-59
14 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment		 2013.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0880904-43
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0880903-08
16 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2014.02.28 수리 (Accepted) 7-8-2014-0005706-66
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수개의 핀홀이 관통 형성되는 받침판; 상기 받침판 앞면에 설치되는 열선; 및 상기 열선을 고정시키기 위한 열선 고정수단;을 포함하여 이루어지며, 상기 열선 고정수단은, 상기 받침판의 앞면쪽에서 상기 열선을 누르면서 양쪽단이 상기 핀홀에 삽입되도록 설치되는 누름핀; 및상기 누름핀의 양쪽단이 걸려 상기 누름핀이 상기 핀홀에서 빠지지 않도록 상기 받침판의 뒷면쪽에 설치되는 고정편;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
2 2
제1항에 있어서, 상기 누름핀은 상기 열선이 끼워지도록 가운데에 오목홈을 가지고 양쪽단에는 상기 고정편에 걸리도록 좌우 바깥쪽으로 절곡되는 절곡부를 가지며, 상기 고정편은 상기 받침판과 상기 절곡부 사이의 틈에 끼이도록 링형상을 하는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
3 3
제2항에 있어서, 상기 열선이 얇은 띠 형태의 스트라이프를 세로로 세워서 폭에 비하여 높이가 더 크도록 한 스트라이프 열선인 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
4 4
제3항에 있어서, 상기 스트라이프 열선이 나선형으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
5 5
제2항에 있어서, 상기 핀홀이 상기 열선의 진행방향에 수직한 방향으로 길게 형성된 장공홀을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
6 6
제2항에 있어서, 상기 핀홀이 "+"자 형태를 하는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
7 7
제2항에 있어서, 상기 고정편은 장공홀이 형성된 링형상을 하며, 상기 누름핀은 상기 핀홀을 통과하여 상기 장공홀의 장축에 삽입된 후 상기 누름핀과 상기 고정편의 상대적인 회전에 의하여 상기 절곡부가 상기 장공홀의 장축에 어긋나게 위치함으로써 상기 절곡부가 상기 고정편에서 빠지지 않고 걸리도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
8 8
제7항에 있어서, 상기 고정편에 형성된 장공홀의 장축은 상기 누름핀의 절곡부 끝단을 잇는 좌우폭보다 더 길거나 같고, 상기 고정편에 형성된 장공홀의 단축은 상기 누름핀의 절곡부 끝단을 잇는 좌우폭보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
9 9
제8항에 있어서, 상기 고정편에 형성된 장공홀의 단축이 상기 누름핀에서 상기 절곡부 위에 위치하는 부위의 좌우폭보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
10 10
제9항에 있어서, 상기 누름핀의 양쪽단이 벌어지는 힘에 의해서 끼워져 고정되도록 상기 고정편에 형성된 장공홀의 단축 양단에 고정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
11 11
제4항에 있어서, 상기 나선형이 가운데에서 바깥으로 갈수록 간격이 점점 벌어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
12 12
제4항에 있어서, 상기 스트라이프 열선이 가운데에서 바깥으로 갈수록 높이가 점점 높아지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 가열용 히터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.