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챔버 오염 방지용 쉴드 부재

  • 기술번호 : KST2015149198
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 챔버 오염 방지용 쉴드 부재에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 탈부착이 용이하며 재사용이 가능한 챔버 오염 방지용 쉴드 부재에 관한 것이다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC C23C 14/564(2013.01) C23C 14/564(2013.01) C23C 14/564(2013.01)
출원번호/일자 1020130076809 (2013.07.02)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1525065-0000 (2015.05.27)
공개번호/일자 10-2015-0004455 (2015.01.13) 문서열기
공고번호/일자 (20150603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.02)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박철영 대한민국 광주광역시 북구
2 최범호 대한민국 광주 광산구
3 이종호 대한민국 광주광역시 동구
4 류동찬 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0592547-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.03.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2014-0032026-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0516916-32
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0872300-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1150162-16
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1150161-71
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
9 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2015.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0019551-15
10 등록결정서
Decision to grant		 2015.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0350120-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막 증착 챔버 내부에 삽입되는 금속 본체부;상기 금속 본체부의 상·하 양단 중 어느 일단에 형성되어 상기 챔버에 고정되는 고정부; 상기 금속 본체부의 일 측단에 형성되는 하나 이상의 홈 결합부; 및 상기 금속 본체부의 타 측단에 형성되는 하나 이상의 돌기 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 오염 방지용 쉴드 부재
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서,상기 금속 본체부는 스테인레스 스틸(stainless steel) 또는 알루미늄(Al)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 챔버 오염 방지용 쉴드 부재
6 6
제 1항에 있어서,상기 쉴드 부재는 glass나 can을 이용한 봉지 공정, 유기물 및 무기물 증착 공정에 적용 가능한 것을 특징으로 하는 챔버 오염 방지용 쉴드 부재
7 7
제 1항에 있어서,상기 쉴드 부재는 세정 및 재사용이 가능한 것을 특징으로 하는 챔버 오염 방지용 쉴드 부재
8 8
제 1항에 있어서,상기 쉴드 부재는 상기 챔버로부터 탈부착 가능한 것을 특징으로 하는 챔버 오염 방지용 쉴드 부재
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 산업계연계형 세부사업: 플랫폼형 R＆D 기술지원 Digital CVD 공정을 이용한 저온, 고밀도 저결함 무기 passivation 박막 증착 공정 구현