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온도균일도가 향상된 서셉터

  • 기술번호 : KST2015149243
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판(200)을 수납하기 위한 포켓(120)이 몸체(110)의 윗면에 형성되는 서셉터(100)에 관한 것으로서, 구체적으로, 포켓(120)은 몸체(110)의 중심부 쪽과 외곽부 쪽의 깊이가 다르도록 바닥이 경사지며, 기판(200)이 수평하게 놓여 기판(200)과 포켓(120)의 바닥 사이의 틈새가 몸체(110)의 중심부 쪽과 외곽부 쪽에서 차이가 나도록 기판(200)이 걸쳐지는 단턱(120b)이 포켓(120)의 깊은 쪽에 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 서셉터(100)의 중심을 기준으로 하여 그 둘레에 기판(200)이 올려 놓일 때에 서셉터(100)의 중심부와 외곽부에서의 온도 차이를 최소화할 수 있으며, 또한 기판(200)이 가열과정이나 기타 원인으로 인하여 휘어지는 경우에도 접촉 불균일에 따른 온도 불균일을 방지할 수 있다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01)
CPC H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1020130111979 (2013.09.17)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1483210-0000 (2015.01.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 변철수 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0852663-97
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0438694-83
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0787148-15
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0912228-70
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1025225-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2014-1061631-63
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1061643-11
8 등록결정서
Decision to grant
2014.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0875404-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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기판을 수납하기 위한 포켓이 몸체의 윗면에 형성되는 서셉터에 있어서, 상기 포켓은 상기 몸체의 중심부 쪽과 외곽부 쪽의 깊이가 다르도록 바닥이 경사지며, 상기 기판이 수평하게 놓여 상기 기판과 상기 포켓의 바닥 사이의 틈새가 상기 몸체의 중심부 쪽과 외곽부 쪽에서 차이가 나도록 상기 기판이 걸쳐지는 단턱이 상기 포켓의 깊은 쪽에 형성되는 것을 특징으로 하는 서셉터
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제1항에 있어서, 상기 포켓의 바닥이 오목하도록 곡률을 가지는 것을 특징으로 하는 서셉터
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제1항에 있어서, 상기 포켓의 얕은 쪽에 단턱이 형성됨으로써 상기 기판이 상기 포켓의 깊은 쪽과 얕은 쪽에 형성된 단턱에 걸쳐져서 상기 포켓의 바닥에서 이격된 상태로 수평하게 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터
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5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.