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기판 위에 나노다이아몬드층을 형성하는 층형성단계와;상기 나노다이아몬드층에 레이저를 조사하여 OLC(Onion Like Carbon)를 형성하는 조사단계를 포함하여 이루어지되,상기 조사단계에 의해 레이저가 조사된 상기 나노다이아몬드층은 상기 OLC로 변경되는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항1에 있어서, 상기 층형성단계에서는, 용매에 나노다이아몬드분말이 분산되어 있는 잉크를 상기 기판에 도포하여 상기 나노다이아몬드층을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항2에 있어서,상기 잉크의 점도는 상기 나노다이아몬드층의 두께가 두꺼울수록 상기 나노다이아몬드분말의 함유량이 증가하여 높고,상기 잉크를 구성하는 상기 용매는 상기 나노다이아몬드층의 두께가 두꺼울수록 그 끓는점이 높은 액체로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항3에 있어서,상기 나노다이아몬드층의 두께가 4㎛이상인 경우에는 4㎛미만의 경우보다, 나노다이아몬드의 함유량이 높아 점도가 높고 용매의 끓은점이 높은 잉크를 사용하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항4에 있어서,상기 나노다이아몬드층의 두께가 4㎛미만인 경우에, 상기 용매는 알콜계 유기용매로 이루어지고, 상기 잉크는 스핀코팅 방법으로 상기 기판에 도포되며,상기 나노다이아몬드층의 두께가 4㎛이상인 경우에, 상기 용매는 물, DMSO(dimethyl sulfoxide), NMP(NMethyl-pyrrolidone),에틸렌글리콜(Ethylene Glycol) 중 어느 하나 이상으로 이루어지고, 상기 잉크는 스크린 프린트 또는 닥터 블레이드 방법으로 상기 기판에 도포되는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항1에 있어서,상기 조사단계에서는 상기 레이저 또는 상기 기판을 이동시켜 패턴화된 상기 OLC를 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항1에 있어서,상기 기판의 하부에 히터를 배치하되,상기 조사단계에서는 상기 기판을 가열하면서 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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청구항1에 있어서,상기 층형성단계 이후에 상기 나노다이아몬드층이 형성된 상기 기판을 챔버에 넣어 상기 챔버의 내부를 진공상태로 유지하는 진공단계를 더 포함하여 이루어지되,상기 조사단계에서는 상기 챔버의 내부에 배치된 상기 나노다이아몬드층에 상기 챔버에 형성된 석영렌즈를 통해 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 OLC 생성방법
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