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베이스와,상기 베이스의 상면에 위치되는 웨이퍼와,상기 웨이퍼에 형성되는 패드와,상기 웨이퍼의 상방에 형성되며, 상기 패드와 대응되도록 관통홀이 형성된 몰드 및 상기 베이스와 상기 몰드 사이에 구비되는 바이메탈인 승강수단을 포함하되,상기 몰드의 하부에 바이메탈(300)의 높이가 웨이퍼와 패드(110)의 높이를 초과하는 만큼 단차부(210)를 형성하는 범프 형성장치
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제1항에 있어서,상기 몰드의 관통홀은 논웨팅(Non-wetting) 소재로 형성되는 범프 형성장치
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제1항에 있어서,상기 몰드는 논웨팅(Non-wetting) 소재로 형성되는 범프 형성장치
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제1항에 있어서,상기 단차부(210)의 길이가 바이메탈(300)의 길이보다 길게 형성된 열변형수용부분(a)은 바이메탈(300)이 열변형을 발생하여 휠 경우 바이메탈(300)의 휜 끝단이 접하는 부분인 범프 형성장치
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베이스와, 상기 베이스의 상면에 위치되는 웨이퍼와, 상기 웨이퍼에 형성되는 패드와, 상기 웨이퍼의 상방에 형성되며, 상기 패드와 대응되도록 관통홀이 형성된 몰드 및 상기 베이스와 상기 몰드 사이에 구비되는 승강수단을 포함하는 범프 형성장치에 형성된 상기 관통홀에 솔더 페이스트를 충진시키는 단계와, 상기 솔더 페이스트(500)가 전달되는 열에 융해되면서 점차 구형상으로 변형되어 몰드(200)와의 접촉 표면적이 감소되는 단계 및상기 승강수단을 이용하여 몰드를 들어올리는 단계를 포함하는 범프 형성 방법
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제7항에 있어서,상기 승강수단은 바이메탈이고, 상기 승강수단을 이용하여 몰드를 들어올리는 단계는 솔더 페이스트(500)와 몰드(200) 사이의 접촉 표면적이 감소할 때의 온도에서 바이메탈(300)이 작동되는 과정인 범프 형성 방법
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