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챔버;상기 챔버의 내부 바닥에 구비되고, 기판이 안착될 수 있는 공간을 제공하는 베이스; 및상기 챔버의 일측에 구비되고, 상기 기판에 사용된 접착제를 경화하기 위해 상기 챔버의 내부로 마이크로파를 조사하는 발진기;를 포함하는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 1항에 있어서,상기 베이스는 챔버 내부에서 이동 가능하게 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 1항에 있어서,상기 챔버의 내측면에는 상기 발진기를 통해 조사되는 마이크로파의 경로를 가이드 하기 위하여 상기 발진기와 대응되는 위치에 웨이브 가이드가 더 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 3항에 있어서,상기 웨이브 가이드는 상기 챔버의 내측면에 착탈 가능하게 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 1항에 있어서,상기 챔버는 육면체 형상으로 이루어지되, 모서리 중 적어도 어느 하나는 라운딩된 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 1항에 있어서,상기 챔버의 내측면에는 상기 발진기에서 조사되는 마이크로파의 경로를 변경하기 위한 리플렉터가 더 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 6항에 있어서,상기 리플렉터는 상기 마이크로파의 산란이 용이하도록 회전 가능하게 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 7항에 있어서,상기 챔버의 내측면은 마이크로파를 반사할 수 있는 반사재질로 구성되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 6항에 있어서,상기 리플렉터는 상기 마이크로파의 조사 각도를 변경하기 위하여 각도 조절이 가능하게 구비되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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제 9항에 있어서,상기 챔버의 내측면은 마이크로파를 흡수할 수 있는 흡수재질로 구성되는 마이크로파를 이용한 기판 접착제 경화 장치
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