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희토류가 포함된 샘플이 상면에 놓여 이를 지지하는 스테이지와;상기 스테이지를 덮어 외부로부터 상기 샘플이 배치된 내부를 밀폐시키는 챔버와;상기 챔버 내부에서 상기 샘플의 상부에 배치되는 포집기판과;상기 샘플에 레이저빔을 조사하여 상기 샘플로부터 희토류가 함유된 나노파티클을 생성시키는 레이저기기를 포함하여 이루어지되,상기 샘플에서 생성되어 방출된 희토류가 함유된 나노파티클은 상부에 배치된 상기 포집기판에 부착되어 포집되고,상기 레이저기기는 상기 챔버의 외부에서 상기 챔버의 상부에 배치되고,상기 챔버의 상면에는 상기 레이저기기에서 조사된 레이저빔이 투과하기 위한 석영렌즈가 장착되고,상기 포집기판에는 상기 석영렌즈를 투과한 레이저빔이 관통하여 상기 샘플에 조사되도록 하는 관통공이 형성되고,상기 포집기판에는 상기 관통공의 둘레를 따라 상기 샘플이 배치된 하방향으로 중공돌기가 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항1에 있어서,상기 스테이지는 상기 샘플을 상기 챔버의 내부에서 수평방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항1에 있어서,상기 포집기판은 상기 챔버의 내측면에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항3에 있어서,상기 챔버의 내측면에 상기 포집기판을 지지하기 위한 지지턱이 형성된 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항4에 있어서,상기 지지턱은 상기 챔버의 내측면에 상하방향으로 회전 가능하게 장착되되,상기 챔버의 내측면에는 상기 지지턱의 하면에 접하여 상기 지지턱이 하방향으로 미리 설정된 일정각도 이상으로 회전되는 것을 저지하는 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항5에 있어서,일단이 상기 챔버의 내측면에 결합되고 타단이 상기 지지턱에 결합되어 상기 지지턱에 회전력을 부가하는 스프링을 더 포함하여 이루어지되,상기 지지턱에는 상기 스프링에 의해 상기 스토퍼와 접하는 방향으로 회전력이 가해지는 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항1에 있어서,상기 중공돌기는 하방향으로 갈수록 그 외경이 점점 작아지는 뿔대 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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청구항1에 있어서,상기 샘플 및 포집기판은 액체 속에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 희토류가 함유된 나노파티클 포집장치
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