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Shadow mask를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 및 상기 방법으로 제조된 유기 발광 소자.

  • 기술번호 : KST2015149365
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 누설 전류를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 Shadow mask를 통하여 증착된 하부 전극의 누설 전류를 감소시키기 위하여, 하부 전극의 평탄화 공정을 수행함으로써, 누설 전류를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 소자에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/3205 (2006.01) H01L 21/3213 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020150043280 (2015.03.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0042757 (2015.04.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 취하
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2014-0147919 (2014.10.29)
관련 출원번호 1020140147919
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최범호 대한민국 광주광역시 광산구
2 이종호 대한민국 광주광역시 동구
3 김영백 대한민국 광주광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2015.03.27 취하 (Withdrawal) 1-1-2015-0303498-07
2 협의요구서
Request for Consultation		 2015.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0708698-11
3 [특허 등 절차 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2015.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-1008126-75
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계;상기 기판에 Shadow mask를 도입하는 도입 단계;상기 Shadow mask가 도입된 기판에 하부 전극을 증착하는 하부 전극층 증착 단계;상기 하부 전극층을 평탄화하는 평탄화 단계;상기 평탄화된 하부 전극층에 유기물을 증착하는 유기물층 증착 단계; 및 상기 유기물층에 상부 전극을 증착하는 상부 전극층 증착 단계를 포함하며;상기 평탄화 단계는 열처리 및 플라즈마 처리가 동시에 수행되어 이루어지되,상기 열처리는 250 ~ 400의 범위에서 수행되고,상기 플라즈마 처리는 플라즈마 파워가 400 ~ 600W 범위의 아르곤(Ar) 플라즈마 처리 및 플라즈마 파워가 100 ~ 200W 범위의 산소 플라즈마 처리 중 하나 이상을 수행하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 평탄화된 하부 전극층에 절연막을 증착하는 절연막층 증착 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 절연막은 PI(Polyimide), Al2O3 , SiO2 및 SiNx 절연막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 하부 전극층은 ITO(Indium Tin Oxide) 박막층인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 제조 방법
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 제조 방법으로 제조된 유기 발광 소자
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101594352 KR 대한민국 FAMILY
2 KR1020140142196 KR 대한민국 FAMILY
3 US09640776 US 미국 FAMILY
4 US20150364714 US 미국 FAMILY
5 WO2014137068 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 산업원천기술개발사업 저가형 OLED 면광원 제조기술
2 기획재정부 한국생산기술연구원 한국생산기술연구원 호남권본부 대표 과제 저가공정기술을 이용한 고효율 OLED 조명 제조기술