| 1 |
1
구리이온 및 환원제를 함유하는 무전해 구리 도금액 조성물로서,상기 환원제는, 시안화합물 및 포름알데히드를 함유하지 않으며, 알데히드의 유도체; 알데히드기 또는 케톤기를 가진 환원당; 및 인산염 유도체;로 이루어진 군에서 선택된 적어도 둘 이상을 포함하고, 상기 구리이온의 석출에 필요한 구리표면에서의 자기촉매적 활동도를 증가시키는 카르복실산 및/또는 카르복실산의 유도체를 포함하는 촉진제를 더 함유하되, 상기 촉진제는 상기 도금액 1ℓ당 5g 내지 100g 함유되며, 상기 카르복실산은 아세트산, 개미산, 옥살산, 크로로아세트산, 락틱산 또는 프로피온산을 포함하고, 상기 카르복실산의 유도체는 디카르복실산으로 아디픽산, 말로닉산, 숙신산, 글루타르산, 피멜린산, 글루타콘산, 이타콘산, 타르타르산, 말릭산, 옥살아세트산또는 프탈산을 포함하며, 트리카복실산으로 시트린산, 이조시트린산, 아코니트산, 트리카르발리산, 트리메스산 또는 멜리트산을 포함하며, 하이드로카르복실산으로 말릭산, 글리콜산, 글리신 또는 만델린산을 포함하며, 티오카르복실산으로 티오글리콜산, 티오프로피오닌산, 티오말락산 또는 메르켑토프로피오닌산을 포함하고, 아미노카르복실산으로 알라닌, 아르기닌, 아스파트산, 글루타민산, 시스테인산 또는 메티오닌을 포함하는, 무전해 구리 도금액 조성물
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 알데히드의 유도체는 글리옥살, 글리옥살산, 글리옥실산, 메틸글리옥살, 에틸글리옥살 또는 벤즈알데히드를 포함하며, 상기 알데히드기 또는 케톤기를 가진 환원당은 글루코스, 프룩토오스, 갈락토오스, 말토스 또는 락토스를 포함하고, 상기 인산염 유도체는 포스핀산, 하이포인산, 차아인산 나트륨, 차아인산 칼륨 또는 차아인산 암모늄을 포함하는, 무전해 구리 도금액 조성물
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 구리이온은 상기 도금액 1ℓ당 1g 내지 5g 함유되며, 상기 환원제는 상기 도금액 1ℓ당 1g 내지 100g 함유된,무전해 구리 도금액 조성물
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 구리이온은 상기 조성물에 함유된 황산동, 아세트산동, 염화동, 피로인산동 또는 설파민산구리를 포함하는 수용성 금속염으로부터 제공되는, 무전해 구리 도금액 조성물
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 구리이온은 상기 조성물에 함유된 산화구리가 용해된 착화제 수용액으로부터 제공되는,무전해 구리 도금액 조성물
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 착화제는, 상기 도금액 1ℓ당 5g 내지 100g 함유되며, 타르타르산나트륨칼륨; 구연산염(Citrate); 카르복실기를 포함하는 아미노산; 수산화기를 포함하는 디아민(diamine); 및 수산화기를 포함하는 모노아민;으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 내지 4종 이상을 포함하며,상기 카르복실기를 포함하는 아미노산은 에틸렌디아민 테트라아세트산(EDTA), 펜테틴산(DTPA), 니트릴로트리아세트산(NTA) 또는 시크로헥산 1,2-디아민테트라아세트산(CDTA)을 포함하며,상기 수산화기를 포함하는 디아민(diamine)은 N,N,N,N'-테트라키스(2-하이드록시프로필)에틸렌디아민(THPED) 또는 N,N,N,N'-테트라키스(2-하이드록시에틸)에틸렌디아민(THPED)을 포함하고,상기 수산화기를 포함하는 모노아민은 트리에탄올아민(TEA) 또는 트리이소프로파놀아민(TIPA)을 포함하는, 무전해 구리 도금액 조성물
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,도금욕의 표면장력을 제어하기 위한 제 1 첨가제, 도금욕의 자발적 분해를 방지하기 위한 제 2 첨가제, 구리결정핵 생성에너지를 감소시키기 위한 제 3 첨가제, 계면활성 원소인 제 4 첨가제, 구리피막의 수소취성 억제제인 제 5 첨가제 및 감극제인 제 6 첨가제 중에서 선택된 적어도 어느 하나 이상인 첨가제를 더 함유하되, 상기 첨가제는 상기 도금액 1ℓ당 0
|
| 9 |
9
제 1 항 내지 제 6 항 및 제 8 항 중 어느 한 항에 의한 상기 무전해 구리 도금액 조성물을 이용하여 무전해 도금을 실시함으로써 구리 박막을 형성하는 단계를 포함하는 무전해 구리 도금방법
|
