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박막 합성 장치

  • 기술번호 : KST2015149460
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 화학 증착 장치를 이용하여 모재에 박막을 합성하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다중 및 단일 스크린을 이용하여 플라즈마의 밀도를 높이고 균일한 온도제어 및 조절을 통해 대면적 제품에도 균일한 비정질의 탄소계 박막을 합성할 수 있는 박막 합성 장치에 관한 것이다.본 발명은 모재 표면에 박막을 합성하는 장치에 있어서, 상기 모재가 설치되며, 진공도 유지를 위한 진공용기; 상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내에 탄소화합물과 수소를 진공용기 내로 공급하는 공급부; 상기 모재가 안치되고 상기 진공용기 내에 설치되며, 중공음극방전을 통해 상기 탄소화합물과 수소기체를 이온화시켜 플라즈마를 발생시키는 스크린; 상기 스크린과 모재에 전원을 공급하는 전원공급부; 상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내의 가스를 배출하는 배출수단; 상기 진공용기와 연결되며, 플라즈마 상태를 진단하는 진단부; 상기 전원공급부와 진단부를 제어하는 제어부;로 구성된 것을 특징으로 한다.플라즈마, 박막, 중공음극방전, DLC, PECVD, 증착, 합성
Int. CL C23C 16/513 (2006.01)
CPC H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01) H01J 37/32596(2013.01)
출원번호/일자 1020030022606 (2003.04.10)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0088650 (2004.10.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.04.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성완 대한민국 서울특별시양천구
2 조용기 대한민국 충청남도천안시
3 변상모 대한민국 인천광역시연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)
2 윤여표 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길 *, ***호(방배동,정암빌딩)(웰컨설팅(분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2003-0126785-28
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2004.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2004-5019598-83
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.11.16 수리 (Accepted) 9-1-2004-0066848-19
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0246148-62
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0407607-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

모재 표면에 박막을 합성하는 장치에 있어서,

상기 모재가 설치되며, 진공도 유지를 위한 진공용기;

상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내에 탄소화합물과 수소를 진공용기 내로 공급하는 공급부;

상기 모재가 안치되고 상기 진공용기 내에 설치되며, 중공음극방전을 통해 상기 탄소화합물과 수소기체를 이온화시켜 플라즈마를 발생시키는 스크린;

상기 스크린과 모재에 전원을 공급하는 전원공급부;

상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내의 가스를 배출하는 배출수단;

상기 진공용기와 연결되며, 플라즈마 상태를 진단하는 진단부;

상기 전원공급부와 진단부를 제어하는 제어부;

로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

2 2

모재 표면에 박막을 합성하는 장치에 있어서,

상기 모재가 설치되며, 진공도 유지를 위한 진공용기;

상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내에 탄소화합물과 수소를 진공용기 내로 공급하는 공급부;

상기 모재를 내장하고 상기 진공용기 내에 설치되며, 중공음극방전을 통해 상기 탄소화합물과 수소기체를 이온화시켜 플라즈마를 발생시키는 스크린;

상기 스크린 하부에 장치되어, 상기 모재에 바이어스를 인가하기 위한 서셉터;

상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내의 가스를 배출하는 배출수단;

상기 스크린과 서셉터에 전원을 공급하기 위한 전원공급부;

상기 진공용기와 연결되며, 플라즈마 상태를 진단하기 위한 진단부;

상기 전원공급부와 진단부를 제어하기 위한 제어부;

로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 스크린은 원통형이며, 상기 스크린에는 중공음극방전을 발생시킬수 있는 다수의 오리피스 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

4 4

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 배출수단은 진공펌프인 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

5 5

제 1 항에 있어서,

상기 스크린은 다수의 모재를 안치할 수 있는 다중 스크린으로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

6 6

제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,

상기 스크린과 모재에는 상기 전원공급부에 의해 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

7 7

제 2 항에 있어서,

상기 전원공급부는 상기 서셉터와 스크린에 각기 다른 전압을 공급할 수 있도록 스크린 전극부와 서셉터 전극부로 구분되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 합성 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.