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ITO소결체의제조방법

  • 기술번호 : KST2015149478
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 침전법으로 제조된 인디움 산화물 분말, 인디움-주석 산화물(ITO)분말을 상압에서 범용의 소결로로 소결시켜 고밀도의 ITO소결체를 제조하는 ITO 소결체의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, ITO 소결체의 제조방법에 있어서, 적어도 두가지 이상의 염의 수용액을 혼합하는 혼합단계와, 상기 혼합용액에 소정의 알칼리를 첨가하여 혼합 슬러지를 침전시키는 혼합 침전단계와, 상기 침전된 혼합 슬러지를 재결정시켜 재침전시키는 혼합 재침전단계와, 상기 혼합 침전 및 재침전 단계에 의해 침전된 침전물을 여과하는 여과단계와, 상기 여과단계에서 여과된 침전물을 제1온도하에서 건조하고 제2온도하에서 하소하여 소정의 혼합 분말을 생성하는 분말생성단계와, 상기 분말생성단계에서 생성된 상기 분말을 볼 밀링하고 소정압력으로 프레스몰딩 및/또는 냉간정수압성형하는 성형단계; 및 상기 성형단계에서 성형된 소정의 성형체를 제3온도하에서 소정시간동안 소결하여 ITO 소결체를 형성하는 ITO 소결체 형성단계를 포함하고 있어, 고밀도의 ITO 소결체를 용이하게 얻을 수 있는 장점을 제공한다.
Int. CL H01L 21/283 (2006.01)
CPC C04B 35/457(2013.01) C04B 35/457(2013.01)
출원번호/일자 1019950045809 (1995.11.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0177881-0000 (1998.11.19)
공개번호/일자 10-1997-0030909 (1997.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (19990415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.11.30)
심사청구항수 31

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이인규 대한민국 서울특별시서초구
2 윤종광 대한민국 경기도성남시분당구
3 허승무 대한민국 충청남도천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 권석흠 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)
3 윤창일 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이인규 서울특별시 구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1995.11.30 수리 (Accepted) 1-1-1995-0179581-52
2 출원심사청구서
Request for Examination
1995.11.30 수리 (Accepted) 1-1-1995-0179583-43
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1995.11.30 수리 (Accepted) 1-1-1995-0179582-08
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1998.07.03 수리 (Accepted) 1-1-1995-0179584-99
5 등록사정서
Decision to grant
1998.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0094925-32
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005793-30
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2000-0078617-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1

ITO 소결체의 제조방법에 있어서, 적어도 두가지 이상의 염의 수용액을 혼합하는 혼합단계와, 상기 혼합용액에 소정의 알칼리를 첨가하여 혼합 슬러지를 침전시키는 혼합 침전단계와, 상기 침전된 혼합 슬러지를 재결정시켜 재침전시키는 혼합 재침전단계와, 상기 혼합 침전 및 재침전 단계에 의해 침전된 침전물을 여과하는 여과단계와, 상기 여과단계에서 여과된 침전물을 제1온도하에서 건조하고 제2온도하에서 하소하여 소정의 혼합 분말을 생성하는 분말생성단계와, 상기 분말생성단계에서 생성된 상기 분말을 볼 밀링하고 소정압력으로 몰딩하는 성형단계; 및 상기 성형단계에서 성형된 소정의 성형체를 제3온도하에서 소정시간동안 소결하여 ITO 소결체를 형성하는 소결 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 염의 수용액은 인디움염 수용액, 주석염 수용액인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

3 3

제2항에 있어서, 상기 인디움염의 염은 질산염, 황산염중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

4 4

제2항에 있어서, 상기 주석염의 염은 염산염인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

5 5

제1항에 있어서, 상기 침전단계에서 침전된 용액의 PH는 7-12인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

6 6

제1항에 있어서, 상기 소정의 알칼리는 수산화암모늄, 요산중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

7 7

제1항에 있어서, 상기 혼합 재침전단계는 0℃-90℃하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

8 8

제1항에 있어서, 상기 제1온도는 70℃-120℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

9 9

제1항에 있어서, 상기 제2온도는 400℃-800℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

10 10

제1항에 있어서, 상기 제3온도는 1350℃-1650℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

11 11

제1항에 있어서, 상기 염의 수용액 농도는 0

12 12

ITO 소결체의 제조방법에 있어서, 적어도 두가지 이상의 염의 수용액을 개별적으로 준비하는 수용액 준비단계와, 상기 개별적으로 준비된 염의 수용액 각각에 소정의 알칼리를 첨가하여 슬러지를 개별적으로 침전시키는 개별 침전단계와, 상기 개별적으로 침전된 슬러지들을 각각 재결정시켜 재침전시키는 개별 재침전단계와, 상기 개별 침전 및 재침전 단계에 의해 침전된 침전물을 각각 여과하는 개별 여과단계와, 상기 여과단계에서 여과된 개별 침전물들을 각각 제1온도하에서 건조하고 제2온도하에서 하소하여 소정의 혼합 분말을 생성하는 개별 분말생성단계와, 상기 분말생성단계에서 개별적으로 생성된 분말들을 소정의 비율로 혼합하는 분말혼합단계와, 상기 분말혼합단계에 의한 혼합분말을 볼 밀링하고 소정압력으로 몰딩하는 성형단계; 및 상기 성형단계에서 성형된 소정의 성형체를 제3온도하에서 소정시간동안 소결하여 ITO 소결체를 형성하는 소결 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

13 13

제12항에 있어서, 상기 염의 수용액은 인디움염 수용액, 주석염 수용액인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

14 14

제13항에 있어서, 상기 인디움염의 염은 질산염, 황산염중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

15 15

제13항에 있어서, 상기 주석염의 염은 염산염인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

16 16

제12항에 있어서, 상기 침전단계에서 침전된 용액의 PH는 7-12인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

17 17

제12항에 있어서, 상기 소정의 알칼리는 수산화암모늄, 요산중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

18 18

제12항에 있어서, 상기 염의 수용액 농도는 0

19 19

제12항에 있어서, 상기 개별 재침전단계는 0℃-90℃ 온도하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

20 20

제12항에 있어서, 상기 제1온도는 70℃-120℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

21 21

제12항에 있어서, 상기 제2온도는 400℃-800℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

22 22

제12항에 있어서, 상기 제3온도는 1350℃-1650℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

23 23

ITO 소결체의 제조방법에 있어서, 인디움염의 수용액에 소정의 알칼리를 첨가하여 슬러지를 침전시키는 침전단계와, 상기 침전된 슬러지를 재결정시켜 재침전시키는 재침전단계와, 상기 침전 및 재침전 단계에 의해 침전된 침전물을 여과하는 여과단계와, 상기 여과단계에서 여과된 침전물을 제1온도하에서 건조하고 제2온도하에서 하소하여 인디움산화물 분말을 생성하는 분말생성단계와, 상기 분말생성단계에서 생성된 인디움산화물 분말과 상기 ITO를 구성하는 상용의 주석산화물 분말을 혼합하는 분말혼합단계와, 상기 분말혼합단계에 의한 혼합분말을 볼 밀링하고 소정압력으로 몰딩하는 성형단계; 및 상기 성형단계에서 성형된 소정의 성형체를 제3온도하에서 소정시간동안 소결하여 ITO 소결체를 형성하는 소결단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

24 24

제23항에 있어서, 상기 인디움염의 염은 질산염, 황산염중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

25 25

제23항에 있어서, 상기 침전단계에서 침전된 용액의 PH는 7-12인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

26 26

제23항에 있어서, 상기 소정의 알칼리는 수산화암모늄, 요산중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

27 27

제23항에 있어서, 상기 염의 수용액 농도는 0

28 28

제23항에 있어서, 상기 재침전단계는 0℃-90℃ 온도하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

29 29

제23항에 있어서, 상기 제1온도는 70℃-120℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

30 30

제23항에 있어서, 상기 제2온도는 400℃-800℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

31 31

제23항에 있어서, 상기 제3온도는 1350℃-1650℃인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP09157004 JP 일본 FAMILY
2 US05866493 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 JP9157004 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH09157004 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US5866493 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.