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광폭 초음파분무 및 스핀공정 복합코팅 장치 및 코팅 방법

  • 기술번호 : KST2015149517
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판 상에 감광액이나 식각액, ITO 코팅액 등을 도포할 때 많이 사용되고 있는 스핀코팅 공정에 광폭초음파 분무공정을 복합화한 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 스핀공정 방식에서 발생하는 원재료의 비산에 따른 손실을 줄이고, 기존의 스핀방식으로는 웨이퍼상의 요철 부분에 공기가 미처 빠져나가지 못하여 향후 제품에 결함이 발생될 수 있는 스핀 방식의 단점을 없앨 수 있는 공정과 제조장치에 관한 것으로서 그 구성요소로서는 광폭의 초음파 분무를 할 수 있는 초음파무화기와 가스유동제어장치 및 스핀코터로 이루어져 있다. 이 분야의 종래의 방식은 스핀공정에 의하여 반도체나 유리기판 등의 표면에 액상 또는 액체와 고체 미립자가 혼합된 액을 도포하는 방식이라 반도체웨이퍼 상에 미세패턴이 있는 경우에 그 패턴 속으로 원하는 도포 액이 들어가지 않고 패턴 속에 공기층이 남을 수 있어 이러한 웨이퍼를 이용한 부품들의 불량 원인이 된다. 또한 스핀공정만으로 도포 액을 코팅할 때 그 원액의 소모량이 많아서 원재료 비용이 높고, 대부분의 도포 액이 친환경적이지 못한 경우가 많아 잉여 도포 액이 환경적인 측면에서도 비용을 상승시킨다.본 발명은 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 광역 초음파 코팅과 스핀 코팅 공정을 일체화하여, 공기가 미세패턴 속에서 빠져나오지 못하는 현상이 발생하지 않도록 하고, 또한 과다한 도포 액을 사용하지 않도록 하여 제품의 불량률을 저하시키고, 원가를 절감시키며 보다 친환경적인 공정을 이룰 수 있도록 하였다. 스핀공정, 초음파분무공정, 광폭코팅, 박막
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01)
출원번호/일자 1020050132384 (2005.12.28)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0749037-0000 (2007.08.07)
공개번호/일자 10-2007-0069839 (2007.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20070813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성일 대한민국 서울 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건철 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)(특허법인이룸리온)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0774522-84
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0678526-17
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0034244-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0290559-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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공급된 액체를 무화시키는 초음파 노즐, 상기 초음파 노즐에 인접하여 설치된 한쌍의 가스흐름제어노즐로부터의 가스의 유동에 의하여 무화된 입자를 스트립형태로 피 도포재까지 유도하는 가스유동제어유니트를 포함하는 광폭 초음파 장치, 및 상기 광폭 초음파 장치에서 분무되는 스트립형 무화 액체를 원판을 회전시키는 것에 의하여 원판형 피도포재 전면에 균일하게 분포시키도록 하고, 광폭초음파 도포 공정시 일단계로 저속의 회전속도를 갖고 광폭초음파 도포 공정을 종료한 뒤 이단계로 중속의 회전속도를 갖는 스핀코더를 포함하는 것을 특징으로 하는 광폭 초음파분무 및 스핀공정 복합 코팅 제조장치
2 2
액체공급장치를 통해 제어된 량의 무화대상 도포액을 초음파 노즐에 공급하는 단계;초음파 노즐을 통해 도포액을 무화시키는 단계;초음파 노즐에 인접하여 설치된 한쌍의 가스흐름제어 노즐로부터의 가스 유동을 통해 무화된 입자들을 일정한 길이와 폭을 갖는 스트립 형태로 피도포재까지 유도하는 광폭 초음파 분무단계;상기 스트립 형태의 무화된 입자들이 피도포재 상에 고르게 코팅이 되도록 피도포재가 올려진 스핀코터를 일단계의 저속으로 회전시키는 단계; 및피도포재가 일차로 코팅이 된 후, 시스템 동기화 제어장치를 통해 이단계의 중속으로 회전속도를 올려 코팅 두께를 균질화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광폭 초음파분무 및 스핀공정 복합코팅 방법
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패밀리정보가 없습니다
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