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하이브리드 정전척 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015149540
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 알루미나(Al2O3)를 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 상부 구조체; 및 티타늄(Ti) 또는 티타늄 합금을 포함하며, 상기 상부 구조체의 하부에 몰리브덴-망간 메탈라이징층과 필러를 개재하여 브레이징 접합되며, 상기 기판을 냉각하는 유체가 흐를 수 있는 유로를 구비하는 하부 구조체;를 포함하고, 상기 하부 구조체는 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금을 이용하여 캐닝함으로써 상기 하부 구조체를 상기 알루미늄 또는 알루미늄 합금이 감싸고 있는 구조를 포함하며, 상기 하부 구조체는 적어도 둘 이상의 열전도층이 서로 브레이징 접합되는, 하이브리드 정전척 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL B23Q 3/15 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H02N 13/00 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01)
CPC H01L 21/6833(2013.01) H01L 21/6833(2013.01) H01L 21/6833(2013.01)
출원번호/일자 1020140034669 (2014.03.25)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1593557-0000 (2016.02.03)
공개번호/일자 10-2015-0111147 (2015.10.05) 문서열기
공고번호/일자 (20160216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신승용 대한민국 인천광역시 남동구
2 선주현 대한민국 인천광역시 연수구
3 이장훈 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0285729-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0079063-24
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0184722-73
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0474215-69
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0595718-72
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0595717-26
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0714040-86
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-1189933-48
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-1189937-20
12 등록결정서
Decision to grant
2016.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0065124-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알루미나(Al2O3)를 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 상부 구조체; 및티타늄(Ti) 또는 티타늄 합금을 포함하며, 상기 상부 구조체의 하부에 몰리브덴-망간 메탈라이징층과 알루미늄(Al)계열 필러메탈을 개재하여 브레이징 접합되며, 상기 기판을 냉각하는 유체가 흐를 수 있는 유로를 구비하는 하부 구조체;를 포함하고,상기 하부 구조체는 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금을 이용하여 캐닝함으로써 상기 하부 구조체를 상기 알루미늄 또는 알루미늄 합금이 감싸고 있는 구조를 포함하며, 상기 하부 구조체는 적어도 둘 이상의 열전도층이 서로 브레이징 접합되는,하이브리드 정전척
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 하부 구조체는 기판의 온도조절을 위한 시스히터를 구비하고, 상기 하부 구조체는 적어도 둘 이상의 열전도층이 서로 브레이징 접합되는, 하이브리드 정전척
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 유로는 냉각유로 또는 가스유로를 포함하는, 하이브리드 정전척
7 7
삭제
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 재료연구소 융합연구사업 도체/디스플레이 공정용 고기능 susceptor 부품을 위한 공통제조 기반기술 개발