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대기압 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015149603
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 안정화된 대기압 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생장치에 관한 것으로, 상기 발생장치(100)는, 그 내부에 한쌍의 전극(112)이 구비되고, 플라즈마(P)를 발생시켜 시료(2)의 표면을 세정하는 플라즈마 건(110)과; 상기 플라즈마 건(110)에 연결되어 대기압 이상의 압력으로 조절된 반응가스를 공급하는 반응가스공급부(120)와; 상기 플라즈마 건(110)의 전극(112)에 연결되어 10∼100Hz의 주파수를 갖는 고전압을 제공하는 고전압공급부(130)와; 상기 고전압공급부(130)에 50∼60Hz의 상용주파수를 갖는 교류전원을 공급하는 전원부(134)와; 상기 고전압공급부(130)의 작동을 제어하는 조절부(132);로 구성되어, 대기압 이상의 압력에서 안정화된 플라즈마(P)를 발생시킴으로써 종래에 요구되던 진공장치 등과 같은 고가의 장비가 불필요하게 되어 경제적이고, 플라즈마 발생장치(100)의 범용화를 꾀할 수 있어 경제적인 세정시스템을 구축할 수 있다. 대기압, 플라즈마, 발생장치, 안정화, 시료, 표면, 세정
Int. CL H05H 1/46 (2006.01)
CPC H01J 37/32036(2013.01) H01J 37/32036(2013.01) H01J 37/32036(2013.01) H01J 37/32036(2013.01) H01J 37/32036(2013.01)
출원번호/일자 1020030099902 (2003.12.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2005-0068462 (2005.07.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천광역시부평구
2 이종호 대한민국 서울특별시동작구
3 황정호 대한민국 경기도용인시
4 김성녕 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)
2 윤여표 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길 *, ***호(방배동,정암빌딩)(웰컨설팅(분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-0506800-39
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2004.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2004-5019757-46
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0040535-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0494921-44
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0690043-78
8 의견서
Written Opinion		 2005.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0690031-20
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0123751-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료의 표면을 세정하기 위한 플라즈마를 대기압 이상의 압력에서 안정적으로 발생시키는 대기압 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 발생장치(100)는, 그 내부에 한쌍의 전극(112)이 구비되고, 플라즈마(P)를 발생시켜 시료(2)의 표면을 세정하는 플라즈마 건(110)과; 상기 플라즈마 건(110)에 연결되어 대기압 이상의 압력으로 조절된 반응가스를 공급하는 반응가스공급부(120)와; 상기 플라즈마 건(110)의 전극(112)에 연결되어 10∼100Hz의 주파수를 갖는 고전압을 제공하는 고전압공급부(130)와; 상기 고전압공급부(130)에 50∼60Hz의 상용주파수를 갖는 교류전원을 공급하는 전원부(134)와; 상기 고전압공급부(130)의 작동을 제어하는 조절부(132);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 반응가스공급부(120)에서 공급되는 반응가스는, 산소, 질소, 아르곤, 메탄, 헬륨, 이산화탄소 내지는 이들의 혼합가스 중 선택된 어느 하나의 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 시료(2)는, 구리재질의 리드 프레임, 플라스틱 PCB, 필름 PCB, PCB, LCD, PDP 글래스 표면, 유리 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생장치
4 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 시료(2)는, 구리재질의 리드 프레임, 플라스틱 PCB, 필름 PCB, PCB, LCD, PDP 글래스 표면, 유리 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.