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선형이송기구 보정장치

  • 기술번호 : KST2015149615
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 선형이송기구의 보정장치에 관한 것으로, 그 목적은 볼스크류로 이루어진 선형이송기구에 설치되어 선형이송기구의 오차를 보정함으로써 선형이송기구의 정밀도를 높일 수 있는 선형이송기구의 보정장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 볼스크류와 이에 결합되어 이동하는 슬라이더로 이루어진 선형이송기구에 있어서, 상기 슬라이더의 외주면을 감싸는 링-구조로 형성되고, 상기 슬라이더에 구비된 플랜지에 다수개의 볼트들에 의해 고정되며, 상기 선형이송기구에 의해 이동하는 스테이지에 설치된 브라켓과 연결되는 피에조 엑츄에이터로 이루어진 선형이송기구의 보정장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.선형이송기구, 보정장치, 피에조 엑츄에이터, 개구부, 볼스크류
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01)
출원번호/일자 1020060080874 (2006.08.25)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0798305-0000 (2008.01.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.25)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍원표 대한민국 인천 연수구
2 강은구 대한민국 서울 영등포구
3 최헌종 대한민국 서울 강남구
4 이석우 대한민국 경기 용인시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0608456-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0454050-34
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0735750-08
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0735735-12
6 등록결정서
Decision to grant
2007.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0688102-97
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
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볼스크류와 이에 결합되어 이동하는 슬라이더로 이루어진 선형이송기구에 있어서,상기 슬라이더의 외주면을 감싸는 링-구조로써, 상기 볼스크류의 직경 보단 큰 폭을 갖고 슬라이더의 직경 또는 폭 보단 작은 폭을 갖는 개구부가 그의 내주면과 외주면을 연결하도록 형성되고, 상기 슬라이더에 구비된 플랜지에 다수개의 볼트들에 의해 고정되며, 상기 선형이송기구에 의해 이동하는 스테이지에 설치된 브라켓과 연결되는 피에조 엑츄에이터로 이루어진 것을 특징으로 하는 선형이송기구의 보정장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 피에조 엑츄에이터에는 양측면을 관통하는 다수개의 구멍들이 형성되고,상기 다수개의 볼트들은 상기 플랜지의 일측면을 통해 삽입되어 상기 피에조 엑츄에이터의 구멍을 관통한 후, 상기 브라켓에 체결되는 것을 특징으로 하는 선형이송기구의 보정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.