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산화물계 열전소재용 타겟과 이를 이용한 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015149668
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화물계 열전소재용 타겟과 이를 이용한 박막 제조방법에 관한 것으로, 그 목적은 산화물계 분말소재의 입도를 조정하고, 입도가 조정된 산화물계 분말소재로 900℃이하의 저온에서 단시간내에 방전플라즈마 공정에 의해 소결밀도 97% 이상을 구비하는 산화물계 열전소재용 타겟 제조방법과 이에 의해 제조된 타겟 및 타겟을 이용한 박막 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 CaCO3 및 MnO2 분말을 혼합하고, 냉간성형 및 하소처리하여 CaMnO3 합성체를 합성하며, 상기 CaMnO3 합성체를 평균입도 2∼10㎛으로 분쇄한 후, 소결온도 800∼900℃, 인가하중 10∼20㎫으로 방전플라즈마 소결처리하여, 상대밀도 97% 이상을 구비하도록 형성된 산화물계 열전소재용 타겟에 의해 DC Power 100∼200Ｗ 및 아르곤(Ar) 36sccm, 산소 0.1∼0.5sccm 분위기하에서 기판에 성막두께 10㎛ 이상의 박막을 제조하도록 되어 있다.
Int. CL B22F 3/10 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020130162082 (2013.12.24)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0074369 (2015.07.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경택 대한민국 인천 연수구
2 신승용 대한민국 인천 남동구
3 문경일 대한민국 인천 남동구
4 노승준 대한민국 인천 연수구
5 최준영 대한민국 경기 수원시 장안구
6 채나현 대한민국 인천 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 허조영 대한민국 충청북도 제천시 내토로**길 **(장락동, 신안실크밸리 스카이시티 오피스텔) ***호(안담국제특허법률사무소)
3 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-1181357-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0087409-61
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0367916-15
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0845955-75
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CaCO3 및 MnO2 분말을 혼합하고, 냉간성형 및 하소처리하여 CaMnO3 합성체를 합성하며, 상기 CaMnO3 합성체를 평균입도 2∼10㎛으로 분쇄한 후, 소결온도 800∼900℃, 인가하중 10∼20㎫으로 방전플라즈마 소결처리하여 형성된 것을 특징으로 하는 산화물계 열전소재용 타겟
2 2
청구항 1 에 있어서;상기 산화물계 열전소재용 타겟은,CaCO3 및 MnO2 분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합단계;상기 혼합분말을 냉간성형하여 성형체를 형성하는 냉간성형단계;상기 성형체를 하소하여 CaMnO3 합성체를 형성하는 하소단계;상기 CaMnO3 합성체를 유발파쇄 및 볼밀링파쇄에 의해 평균입도 2∼10㎛으로 분쇄하여 분말을 형성하는 분쇄단계;상기 분말을 방전플라즈마 소결로를 이용하여 소결온도 800∼900℃에 도달될 때까지 인가하중 10∼20㎫를 유지하며 가열하는 승온단계;상기 승온단계 후, 30∼60분 동안 소결온도 800∼900℃, 인가하중 10∼20㎫를 유지하여 소결하는 유지단계;상기 유지단계 후, 인가하중을 제거하고 노냉하는 냉각단계;에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 산화물계 열전소재용 타겟
3 3
청구항 2 에 있어서;상기 혼합분말에는 Sb, La 및 Bi 중 하나 이상이 더 첨가되는 것을 특징으로 하는 산화물계 열전소재용 타겟
4 4
청구항 2 에 있어서;상기 CaMnO3 합성체는 유발파쇄를 통하여 평균입도 12㎛ 까지 분쇄되고, 볼밀링을 통하여 평균입도 4
5 5
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 따른 산화물계 열전소재용 타겟을 스퍼터링 장비를 이용하여 이온세정하고, 스퍼터링 기체를 흘려주면서 타겟에 DC Power 100∼200Ｗ를 인가하여 기판에 성막두께 10㎛ 이상의 박막이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 산화물계 열전소재용 타겟을 이용한 박막 제조방법
6 6
청구항 5 에 있어서;상기 스퍼터링 기체는 아르곤(Ar) 36sccm을 기본으로 하여, 산소가 0
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.