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플라스틱재 표면의 경면보호층 형성방법

  • 기술번호 : KST2015149742
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라스틱 기재 표면을 보호하기 위한 금속 박막층에 있어서, 상기 플라스틱 기재 표면에 증착되는 적어두 복수개의 금속층 및 상기 복수개의 금속층 중 상호 인접하는 양 금속층 사이에 증착되는 상기 금속층과 격자상수가 다른 금속 산화물층을 포함하여 경면이 형성되는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 미관을 유지할 수 있으면서 생활 스크래치(scartch)의 발생을 방지할 수 있고, 증착되는 금속 박막층과 플라스틱 기재 표면의 밀착력이 향상되는 효과를 가짐에 따라 플라스틱 보호용 금속 박막층에 적용 가능하다.
Int. CL C23C 18/31 (2006.01) C23C 18/08 (2006.01) C23C 18/20 (2006.01)
CPC C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01)
출원번호/일자 1020140027189 (2014.03.07)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1619127-0000 (2016.05.02)
공개번호/일자 10-2015-0105032 (2015.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20160512) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최범호 대한민국 광주광역시 광산구
2 안재석 대한민국 광주광역시 광산구
3 장하준 대한민국 광주광역시 광산구
4 박철영 대한민국 광주광역시 동구
5 이종호 대한민국 광주광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0225189-51
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0506450-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0016311-88
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0361999-54
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0734487-92
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-0840913-50
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0840914-06
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0064612-13
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0287819-28
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0287815-46
13 등록결정서
Decision to grant
2016.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0313936-64
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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산소를 이용한 플라즈마 처리를 수행하여 플라스틱 기재 표면의 계면활성제 제거 및 평탄화 처리를 하는 전처리단계;전처리된 상기 플라스틱 기재 표면에 반응성스퍼터링 공정을 이용하여 경면보호층을 형성하는 경면보호층형성단계; 및형성된 상기 경면보호층을 80 내지 110℃ 범위의 일정 온도에서 1 내지 3분 범위의 일정 시간 동안 열처리하는 열처리단계;를 포함하는데,상기 경면보호층형성단계는 상기 플라스틱 기재 표면에 크롬(Cr)을 증착하는데, DC 500 ~ 800W의 전력을 인가하여 20 ~ 70nm의 두께로 증착하는 제1크롬층형성단계;형성된 상기 제1크롬층 위에 상기 제1크롬층과 격자상수가 다른 크롬산화물(CrOx)을 증착하는데, DC 1000 ~ 2000W의 전압을 인가하고 산소를 주입하여 20 ~ 70nm의 두께로 증착하는 크롬산화물층형성단계; 및상기 크롬산화물층 위에 크롬을 증착하는데, DC 1000 ~ 2000W의 전력을 인가하여 100 ~ 300nm의 두께로 증착하는 제2크롬층형성단계;를 포함하며,상기 제1크롬층과 상기 크롬산화물층 사이의 면 및 상기 크롬산화물층과 상기 제2크롬층 사이의 면에는 격자불일치로 인하여 경면이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라스틱재 표면의 경면보호층 형성방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제2크롬층형성단계 후에 형성된 상기 제2크롬층 위에 제3크롬층을 증착하는 제3크롬층형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱재 표면의 경면보호층 형성방법
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제 2 항에 있어서, 상기 제1크롬층은 DC 500 ~ 800W의 전력을 인가하여 20 ~ 70nm의 두께로 증착하고, 상기 크롬산화물층은 DC 1000 ~ 2000W의 전압을 인가하고 산소를 주입하여 20 ~ 70nm의 두께로 증착하고, 상기 제2크롬층은 DC 200 ~ 400W의 전력을 인가하여 5 ~ 30nm의 두께로 증착하며, 상기 제3크롬층은 DC 1000 ~ 2000W의 전력을 인가하여 200 ~ 400nm의 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 플라스틱재 표면의 경면보호층 형성방법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 산업계연계형 플랫폼 기술개발사업 저압/저온 하에서 박막 증착을 위한 소스 공급 장치 개발 및 이를 이용한 박막 증착 공정 구현