| 1 |
1
상변화 소재를 포함하는 분말을 제조하는 단계; 상기 분말을 진공로에서 30분 내지 1시간 동안 150~250 ℃로 유지하는 단계; 및상기 분말에 펄스 전류와 압력을 가하여 상기 분말의 소결체를 제조하는 단계를 포함하고,상기 소결체를 제조하는 단계에서, 승온속도가 5~100 ℃/min이고, 피크 온도가 350~600 ℃이며, 피크 압력이 20~70 MPa인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 분말은 산화물을 더 포함하는 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 3 |
3
제2 항에 있어서,상기 산화물은 SiO2인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 4 |
4
제3 항에 있어서,상기 분말은 상기 산화물을 2~4 mol
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 승온속도가 25~100 ℃/min, 상기 피크 온도가 450~550 ℃, 상기 피크 온도 유지시간 2~10 분, 상기 피크 압력이 20~40 MPa인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 7 |
7
제1 항에 있어서,상기 소결체가 50~100 mm의 직경을 가지며, 상기 승온속도가 10 ℃/min 이하인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 8 |
8
제1 항에 있어서,상기 소결체가 100~165 mm의 직경을 가지며, 상기 승온속도가 10 ℃/min 이하이고, 상기 피크 온도가 460 ℃ 이하인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 9 |
9
제1 항에 있어서,상기 소결체가 165~300 mm의 직경을 가지며, 상기 승온속도가 10 ℃/min 이하이며, 상기 피크 온도가 420 ℃ 이하이고, 상기 피크 압력이 20~35 MPa 인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 10 |
10
제9 항에 있어서,상기 소결체를 제조하는 단계는, 상기 분말에 최초 5 MPa의 압력을 가하는 단계;탈가스가 종료된 시점부터 25 MPa의 압력을 가하는 단계; 및상기 피크 온도에 도달하여 35 MPa의 압력을 가하여 유지하는 단계를 포함하는 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제1 항에 있어서,상기 상변화 소재는 칼고지나이드 화합물인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 13 |
13
제12 항에 있어서,상기 칼고지나이드 화합물은 Ge-Sb-Te, Ag-In-Sb-Te 또는 Ag-Sb-Te 합금인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 14 |
14
제13 항에 있어서,상기 칼고지나이드 화합물은 Ge2Sb2Te5인 스퍼터링 타겟 제조방법
|
| 15 |
15
삭제
|
