3개의 흡착탑 (A)(B)(C)을 이용하여 압력변동흡착법에 의해 상압흡착 진공재생법으로 운전되는 산소압력변동흡착(PSA) 장치에서 흡착공정이 종료된 탑의 상부에 잔류산소가스를 재생이 종료된 진공상태의 탑으로 회수하는 과정에서 배출되는 잔류산소가스의 농도가 높을 때는 회수하는 탑의 출구부로 도입하고(상상균압공정), 낮을때는 입구부로 도입(상하균압공정)함으로 산소농도 분포가 입구부에서 출구부쪽으로 높아지도록, 이때 잔류산소가스를 회수히는 탑의 입구와 배출하는 탑의 입구에 진공펌프를 연결하여 각 탑에 있는 질소가 잔류산소가스와 혼합되는 것을 방지하고, 회수되는 잔류산소가스의 양과 축압공정에서 탑으로 도입되는 제품산소가스의 유량이 일정하게 유지되도록 탑의 압력과 공정시간으로 제어함으로 93% 이상의 제품 산소를 제조하면서 산소회수율을 높이는 것을 특징으로 하는 “진공스윙 흡착법에 의한 농축산소 제조방법”

진공스윙 흡착법에 의한 3탑식 산소 농축장치의 공정구성과 탑의 압력 변화를 순차적으로 탑의 하부로 상압부근의(700-1000mmHg abs) 원료공기를 공급하면서 탑의 출구로 제품 산소를 생산하는 흡착공정이 종료되면 원료공기의 공급을 중단하고 탑의 상부에 잔류산소가스를 제2 흡착탑의 출구로부터 향류로 공급함에 의해 회수하는 상상균압공정으로서 8초 동안에 680 Torr 이하로 감압하고 배출되는 잔류산소가스의 산소농도가 떨어지면 제2 탑의 하부로 공급함과 동시에 탑의 입구에 진공펌프를 연결하여 탈착된 질소가 탑의 상부로 이동하는 것을 방지하는 상하 균압공정으로서 5초 동안에 525Torr 이하로 감압하고 탑의 입구에 진공펌프를 연결하여 탑의 압력이 170Torr 이하로 될때까지 진공배기하고 진공배기 공정중인 탑의 출구로부터 향류로 제3의 흡착탑에서 생산된 제품산소의 일부를 도입하여 질소의 탈착을 용이하게 하는 세정배기공정을 마치고 흡착공정이 끝난 제3의 흡착탑 상부에 잔류산소가스를 탑의 출구로부터 향류로 도입하여 회수함과 동시 도입된 회수가스가 탑에 잔류할 질소가스와 혼합되지 않게 탑의 입구에 진공펌프를 연결하여 질소가스를 배기하는 상상 균압공정으로 8초 동안에 230Torr 이상으로 축압하고 제3의 흡착탑으로부터 회수되는 잔류산소가스의 농도가 87% 이하로 떨어지면 회수가스를 탑의 입구로 도입하고 탑의 출구로는 제2의 흡착탑에서 생산된 제품산소가스의 일부를 도입하고 탑의 출구로는 제2의 흡착탑에서 생산된 제품산소가스의 일부를 도입하여 낮은 농도의 산소가스가 탑의 하부로 모이게 하는 공정으로 5초 동안에 320Torr 이상으로 축압하고 제2의 흡착탑에서 생산되는 제품 산소가스의 일부를 탑의 출구부로 도입하여 탑의 압력이 대기압까지 되도록 가압하는 축압공정으로 구성하여 3개의 흡착탑이 서로 위상이 틀리게 운전하는 것을 특징으로 하는 “진공스윙흡착법에 의한 농축산소 제조공정”