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금속 및 금속화합물의 복합 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

  • 기술번호 : KST2015152308
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 및 금속화합물을 3차원 입자에 코팅을 하기 위한 유동층 화학기상증착 방법 및 장치에 관한 것으로, 그 목적은 3차원 입자를 유동층에서 유동화시키며 유기금속전구체(organometallic precursor)를 기화하여 반응기내로 보내 금속 또는 금속화합물을 입자에 코팅하는 기술로서, 유동층 화학기상장치를 사용하여 1micron에서 5mm의 크기를 갖는 입자에 1nm에서 500micron의 두께를 갖는 금속 또는 금속화합물을 균일하게 코팅하는 방법 및 장치를 제공하는데 있다.본 발명의 구성은 기체상태가 된 코팅제, 일반적으로 유기금속전구체가 0.1 torr~760 torr의 압력과 100~1200 ℃의 온도에서 운전되는 유동층에서 입자의 표면과 반응하게 하는 방법 및 장치를 제공함으로써 달성된다.유동층장치, 화학기상증착, 코팅, 입자, 나노
Int. CL C23C 16/442 (2006.01.01) C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01)
CPC C23C 16/442(2013.01) C23C 16/442(2013.01) C23C 16/442(2013.01)
출원번호/일자 1020030031791 (2003.05.20)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0099719 (2004.12.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.05.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재현 대한민국 대전광역시유성구
2 이창근 대한민국 대전광역시 유성구
3 진경태 대한민국 대전광역시 유성구
4 선도원 대한민국 대전광역시 유성구
5 한근희 대한민국 대전광역시 대덕구
6 배달희 대한민국 대전광역시 유성구
7 조성호 대한민국 대전광역시서구
8 유호정 대한민국 대전광역시유성구
9 이승용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2003-0177451-79
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.22 수리 (Accepted) 4-1-2004-5107350-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0009003-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0108991-21
6 의견서
Written Opinion		 2005.05.10 수리 (Accepted) 1-1-2005-0244796-34
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.05.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0244745-16
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0434566-43
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2005.10.17 보정각하 (Rejection of amendment) 7-1-2005-0024659-89
10 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination		 2005.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0618294-90
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment		 2005.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0618293-44
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

3차원 입자 모재에 금속 또는 금속화합물을 코팅하는 방법에 있어서,

상기 3차원 입자 모재에 금속 또는 금속화합물 중에서 선택된 코팅제를 유동층 화학기상증착법을 사용하여 균일하게 코팅하는 방법을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

2 2

제 1항에 있어서,

상기 화학기상증착법을 이용한 코팅 방법은

유동화/운반 기체(carrier gas)를 유기금속전구체가 들어있는 기화기를 거쳐 전구체를 기화시킨 후 코팅될 입자가 들어 있는 유동층으로 공급하는 단계와;

유동층 내 압력을 조절하면서 충전된 코팅될 입자들을 가열하여 전구체의 분해 및 전구체에서 분해된 코팅제와 입자를 부유된 유동화상태에서 반응시키는 단계를 거쳐 코팅되는 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

3 3

제 2항에 있어서,

입자에 금속화합물로 코팅하기 위해 상기 유동화/운반 기체(carrier gas)에 복합물 생성 기체(8)를 함께 공급하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

4 4

제 1항 내지 3항중 어느 한항에 있어서,

복합물을 코팅하기 위하여 다수의 전구체와 기화기를 더 사용하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

5 5

제 1항에 있어서,

상기 3차원 입자 모재(substrate)는 1micron에서 5mm의 크기를 갖는 입자, 분말, 섬유(fiber), 속이 빈 입자, 작은 판(platelet)으로 이루어진 군중에서 선택된 적어도 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

6 6

제 1항에 있어서,

상기 코팅제(coating agent)는 niobium, tantalum, rhenium, molybdenum, tungsten, platinum, palladium, Iridium, ruthenium, lead, zinc, gold, silver, copper, nickel, cobalt, iron, titanium, zirconium, hafnium, aluminum, magnesium, silicon, boron, chromium과 그 들의 탄화물, 산화물, 질화물로 이루어진 군중에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

7 7

제 1항 또는 2항 중 어느 한항에 있어서,

기화된 전구체기체를 유동층 내로 골고루 분산시켜 입자를 유동화 시키기 위하여 분산판을 사용하여 분산시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

8 8

제 1항 또는 2항중 어느 한 항에 있어서,

상기 유동층은 0

9 9

제 1항 또는 2항중 어느 한항에 있어서,

상기 유동층은 100 ℃ ~ 1200 ℃의 공정온도를 갖도록 조절되는 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착 방법

10 10

3차원 입자 모재에 금속 또는 금속화합물을 코팅하는 장치에 있어서,

유동화기체/운반기체/화합물생성기체가 통과하는 유기금속전구체가 들어있는 기화기와;

유동화/운반기체에 의해 기화된 전구체 및 유동화기체/운반기체/화합물생성기체가 들어오면 히터 가열에 의해 가열된 입자와 기화된 전구체에서 분해된 코팅제간에 코팅 반응이 이루어지도록 하는 유동층 반응기와;

상기 반응되어 코팅된 입자들이 유동층 반응기 밖으로 날아가는 것을 막아주기 위해 설치된 필터와;

상기 유동층 반응기의 압력을 조절하는 펌프로 구성된 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착장치

11 11

제 10항에 있어서,

상기 기화기를 통과 후 기화된 전구체와 유동화기체/운반기체/화합물생성기체가 유동층내로 골고루 분산되도록 하는 분산판을 더 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 금속 및 금속화합물의 입자 코팅을 위한 유동층 화학기상증착장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.