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태양전지용 ＣＩＳ계 박막 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015152417
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판의 온도를 측정하는 열전대를 기판에 직접 접촉시킴으로써 온도 측정 감도를 향상시킬 수 있도록 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치는 증발원이 구비되는 진공 챔버와, 기판을 가열하는 열원과 상기 기판에 직접 접촉되어 상기 기판의 온도를 검출하는 기판 온도 측정 열전 소자와 상기 열원의 온도를 검출하는 열원 온도 측정 열전 소자를 구비하며 상기 진공 챔버 내부에 수용되는 히팅 수단과, 상기 히팅 수단에 연결되어 모터 구동을 통해 상기 히팅 수단을 회전시키며 상기 기판 온도 측정 열전 소자와 상기 열원 온도 측정 열전 소자 및 상기 열원에 연결된 각 전원 라인이 관통하도록 중공부가 형성되며 그 일부가 상기 진공 챔버의 외부로 돌출되는 회전관을 구비하는 회전 수단과, 및 상기 히팅 수단 및 상기 회전 수단의 구성 장치 구동을 제어하며 상기 각 전원 라인으로부터 출력되는 전기 신호를 분석하여 온도를 검출하는 컨트롤러를 포함하여 구성된다. 열전대, 열전 소자, 온도, 기판, 진공증발, 태양전지
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01)
CPC H01L 31/1864(2013.01) H01L 31/1864(2013.01) H01L 31/1864(2013.01) H01L 31/1864(2013.01)
출원번호/일자 1020060046765 (2006.05.24)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-0734093-0000 (2007.06.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재호 대한민국 대전 유성구
2 윤경훈 대한민국 대전 유성구
3 안세진 대한민국 대전 유성구
4 이정철 대한민국 대전 유성구
5 김기환 대한민국 대전 유성구
6 안병태 대한민국 대전 유성구
7 송진수 대한민국 대전 유성구
8 김석기 대한민국 대전 유성구
9 정원호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0365478-14
2 등록결정서
Decision to grant		 2007.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0335906-09
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
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번호 청구항
1 1
증발원(11)이 구비되는 진공 챔버(1)와,기판(52)을 가열하는 열원(21)과 상기 기판(52)에 직접 접촉되어 상기 기판(52)의 온도를 검출하는 기판 온도 측정 열전 소자(22)와 상기 열원(21)의 온도를 검출하는 열원 온도 측정 열전 소자(23)를 구비하며 상기 진공 챔버(1) 내부에 수용되는 히팅 수단(2)과, 상기 히팅 수단(2)에 연결되어 모터(32) 구동을 통해 상기 히팅 수단(2)을 회전시키며 상기 기판 온도 측정 열전 소자(22)와 상기 열원 온도 측정 열전 소자(23) 및 상기 열원(21)에 연결된 각 전원 라인(212, 221, 231)이 관통하도록 중공부(311)가 형성되며 그 일부가 상기 진공 챔버(1)의 외부로 돌출되는 회전관(31)을 구비하는 회전 수단(3), 및상기 히팅 수단(2) 및 상기 회전 수단(3)의 구성 장치 구동을 제어하며 상기 각 전원 라인(212, 221, 231)으로부터 출력되는 전기 신호를 분석하여 온도를 검출하는 컨트롤러(4)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 히팅 수단(2)은;내부 공간부(241)와 상부 개방부(242) 및 하부 개방부(243)가 형성된 몸체(24)와,상기 내부 공간부(241)에 고정 수단을 통해 고정되는 반사판(26)과,상기 반사판(26)의 하부에 고정 수단을 통해 고정되며 전원 접속 단자(211)가 구비되는 상기 열원(21)과,상기 몸체(24) 하부 둘레에 장착되는 카본 블록 가열판(26)과,상기 몸체(24)의 하부 개방부(243)에 결합되어 상기 내부 공간부(241)를 폐쇄하는 캡(27)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 열원(21)의 전원 접속 단자(211)는 상기 반사판(26) 상부에서 상기 반사판(26)을 관통하여 상기 열원(21)에 연결됨을 특징으로 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 회전관(31)의 상부 둘레에는 다수의 회전 브러시(341)와 상기 각 회전 브러시(341)의 둘레에 구비되고 상기 컨트롤러(4)에 연결되는 다수의 고정 브러시(342)로 구성되는 회전 단자(34)가 더 구비되며, 상기 기판 온도 측정 열전 소자(22)와 열원 온도 측정 열전 소자(23) 및 열원(21)은 상기 회전 단자(34)를 통해 전기 신호를 입출력함을 특징으로 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치
5 5
제 4항에 있어서,상기 진공 챔버(1)와 상기 회전관(31)의 연결부에는 상기 진공 챔버(1)로부터 증발 물질이 외부로 배출되는 것을 방지하기 위한 쉴딩 부재(33)가 구비됨을 특징으로 하는 태양전지용 CIS계 박막 제조 장치
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