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기포를 동력으로 사용하는 마이크로 펌프에 있어서,기표층으로 상면에 형성된 홈에 마이크로히터(21)가 개재되는 제1실리콘웨이퍼층(20)와; 상기 제1실리콘웨이퍼층에 적층되고, 마이크로히터와 교차되는 방향으로 유로(31)가 형성되는 제2실리콘웨이퍼층(30);상기 마이크로히터(21)의 양단부로부터 상측으로 연통되어 외부로부터 접지에 의해 전력이 공급되도록 하는 전원공급통로(41)와, 상기 유로(31)의 양단부로부터 상측으로 연통되는 유체유입구(42) 및 유체배출구(43)가 형성된 유리웨이퍼층(40);이 순차적으로 적층되어 이루어짐을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 1항에 있어서, 상기 제1실리콘웨이퍼층(20)의 상부면에는 산화막을 형성하여 절연이 이루어지게 하는 산화실리콘층(50)을 더 형성하고, 상기 산화실리콘층에 마이크로히터를 개재하는 홈(51)이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 1항 또는 2항에 있어서,상기 제2실리콘웨이퍼층(30)에 형성된 유로(31)는,상부와 연통된 유체유입구(42)로부터 수평상으로 형성된 유입마이크로유로(310)와; 상기 유입마이크로유로의 일단에 유로의 폭을 일시적으로 작게한 후 점차적으로 큰폭을 갖도록 테이퍼진 노즐(311)과; 상기 노즐의 일단에 형성되어 저면에 마이크로히터가 개재되어 있는 챔버(312)와; 상기 챔버의 일측에 형성되어 점차적으로 큰폭을 갖도록 테이퍼진 확산기(313)와; 상기 확산기의 일단에 연통되고 타단이 유체배출구와 연통된 배출마이크로유로(314);가 동일 선상에 위치하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로펌프
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제 1항 또는 2항에 있어서,상기 마이크로히터를 개재하기 위한 홈(51)은 건식 식각으로 형성하고, 형성된 홈에는 폴리실리콘을 증착시켜 마이크로히터(21)로 사용됨을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 4항에 있어서,상기 증착되는 폴리실리콘은 전기적인 성질을 개선시키기 위해 인을 도핑하여 사용됨을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 1항 또는 2항에 있어서,상기 마이크로히터(21)는 바형태로 단선으로 형성됨을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 6항에 있어서,상기 마이크로히터(21)는 중앙부분이 유로와 동일한 방향으로 연장형성되게 한 것을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 1항 또는 2항에 있어서,상기 마이크로히터(21)는 바형태로 복선으로 형성됨을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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제 8항에 있어서,상기 마이크로히터(21)는 중앙부분이 유로와 동일한 방향으로 연장형성되도록 한 것을 특징으로 하는 기포 동력 마이크로 펌프
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