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ＣＩＳ계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법

  • 기술번호 : KST2015152579
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 태양전지의 CIS계 화합물 박막 제조에서의 버퍼층인 CdS 및 Cd-free 버퍼를 용액성장법에 의해 제조하되 버퍼층의 두께를 측정하기 위한 수단으로 진동자를 사용해 진동수를 감지하거나, 레이져의 광투과 정도를 감지하여 박막의 두께를 모니터링해 버퍼층이 일정한 두께로 형성되도록 하는 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법에 관한 것이다. 상기 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법은, 박막조성원소가 함유된 수용액이 저장되고 상기 수용액을 가열하는 가열수단과 수용액을 교반시키는 교반수단을 구비한 수조에 기판을 담그는 과정과, 상기 기판의 표면에서 박막을 성장시켜 버퍼층을 형성하는 과정을 포함하는 용액성장법(CBD)을 이용한 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법에 있어서, 상기 버퍼층형성과정에는 박막의 두께를 측정하는 과정이 포함된다. 또한, 상기 박막의 두께를 측정하는 과정은, 기판을 수용액에 담글 때 진동자를 함께 담그는 단계와; 상기 수용액에 담긴 진동자가 박막성장에 따라 감소되는 진동수를 측정하는 단계와; 상기 측정한 측정데이터와 표준데이터를 비교하여 박막의 두께를 추산하는 단계와; 상기 측정데이터와 표준데이터에서의 선택된 값이 일치할 때 기판을 수조에서 꺼내는 기판회수단계;를 포함하여 이루어진다. 태양전지, 기판, 박막, 버퍼층, 두께측정, 진동자
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01)
출원번호/일자 1020090008933 (2009.02.04)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1032890-0000 (2011.04.27)
공개번호/일자 10-2010-0089603 (2010.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20110506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.04)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재호 대한민국 대전광역시 유성구
2 안세진 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤경훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 이정철 대한민국 대전광역시 유성구
5 조준식 대한민국 서울특별시 성동구
6 신기식 대한민국 대전광역시 유성구
7 송진수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0069781-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.08.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0051133-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0455142-08
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0758667-82
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0758675-47
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0225377-71
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막조성원소가 함유된 수용액이 저장되고 상기 수용액을 가열하는 가열수단과 수용액을 교반시키는 교반수단을 구비한 수조에 기판을 담그는 과정(P1)과, 상기 기판의 표면에서 박막을 성장시켜 버퍼층을 형성하는 버퍼층형성과정(P2)을 포함하는 용액성장법(CBD)을 이용한 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법에 있어서, 상기 버퍼층형성과정(P2)에는, 기판을 수용액에 담글 때 진동자를 함께 담그는 진동자담금단계(S1)와; 상기 진동자담금단계에서 담긴 진동자가 박막성장에 따라 진동자표면이 단단해지면서 감소되는 진동수를 측정하는 진동수측정단계(S2)와; 상기 진동수측정단계에서 측정된 측정데이터와 표준데이터를 비교하여 박막의 두께를 추산하는 박막두께 추산단계(S3)와; 상기 측정데이터와 표준데이터에서의 선택된 값이 일치할 때 기판을 수조에서 꺼내는 기판회수단계(S4);를 포함하는 박막 두께를 측정하는 과정(P3)가 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법
2 2
삭제
3 3
박막조성원소가 함유된 수용액이 저장되고 상기 수용액을 가열하는 가열수단과 수용액을 교반시키는 교반수단을 구비한 수조에 기판을 담그는 과정(P1)과, 상기 기판의 표면에서 박막을 성장시켜 버퍼층을 형성하는 버퍼층형성과정(P2)을 포함하는 용액성장법(CBD)을 이용한 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법에 있어서, 상기 버퍼층형성과정(P2)에는, 기판이 담긴 수조의 수용액 광투과도를 측정하는 단계(S5)와; 상기 수용액에 담긴 기판의 박막성장시 수용액에서 발생된 생성입자로 인해 수용액의 광투과도가 감소되고, 수용액의 광투과도를 측정한 측정데이터와 표준데이터를 비교하여 박막 두께를 추산하는 박막두께 추산단계(S6)와; 상기 측정데이터와 표준데이터에서의 선택된 값이 일치할 때 담긴 기판을 수조에서 꺼내는 기판회수단계(S7);를 포함하는 박막 두께를 측정하는 과정(P3)가 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법
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