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Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법

  • 기술번호 : KST2015152645
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 셀렌화 또는 황화 방식으로 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막을 제조할 때 사용되는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막의 제조장치는, 기판이 놓이는 홀더가 내부에 형성되고 상부가 개방된 챔버; 상기 챔버 상부에 결합되고 히팅 램프를 포함하는 상부 램프부; 및 상기 챔버의 하부에 결합되고 히팅 램프를 포함하는 하부 램프부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 원하는 공정에 맞춰 다양한 램프를 용이하게 교체하여 사용할 수 있다. 특히 적외선 램프를 사용함으로써, 깊이 방향으로 균일도가 향상된 박막을 형성할 수 있다. Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막, CIS, CIGS, 셀렌화, 셀레늄화, 태양전지
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020090084397 (2009.09.08)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1094315-0000 (2011.12.08)
공개번호/일자 10-2011-0026652 (2011.03.16) 문서열기
공고번호/일자 (20111219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.08)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재호 대한민국 대전광역시 유성구
2 안세진 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤경훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 곽지혜 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 신기식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0551652-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0033271-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0209737-39
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0458947-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0458948-93
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0725939-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 놓이는 홀더가 내부에 형성되고 상부가 개방된 챔버; 상기 챔버 상부에 힌지식으로 결합되고 히팅 램프를 포함하는 상부 램프부; 및 상기 챔버의 하부에 슬라이딩 방식으로 결합되고 히팅 램프를 포함하는 하부램프부; 를 포함하며, 상기 히팅 램프는 다수 개가 모듈 형태로 구성되고, 상기 모듈이 상기 상부 램프부 또는 하부 램프부에 각각 탈착식으로 결합되며, 상기 모듈에 구성된 히팅 램프를 개별로 교체할 수도 있는 것을 특징으로 하는 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막의 제조장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 히팅 램프가 적외선 램프인 것을 특징으로 하는 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막의 제조장치
3 3
청구항 1에 있어서, 열분해된 셀레늄 가스 또는 설퍼 가스를 챔버 내부에 공급하기 위한 크랙커 셀이 상기 챔버에 결합되는 것을 특징으로 하는 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2 화합물 반도체 박막의 제조장치
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8 8
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10 10
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.