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팔라듐-구리-니켈 합금 수소 분리막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015152676
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 팔라듐 합금 수소분리막의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노 니켈 파우더를 사용하여 다공성 니켈 금속 지지체를 제조하는 단계, 다공성 니켈 금속 지지체의 표면을 미세 연마하는 단계, 미세 연마된 다공성 니켈 금속 지지체를 플라즈마로 표면 처리하는 단계, 다공성 니켈 금속 지지체 상에 고온 스퍼터 공정으로 팔라듐＼구리 금속층의 두께비를 변화시켜 포화 조성 중량분율을 갖도록 팔라듐층 및 구리 금속층을 코팅하는 단계 및 팔라듐층과 상기 금속층을 저온에서 장시간 동안 구리 리플로우 열처리하여 상용화 운전온도에서 적합한 포화조성의 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금을 형성하는 단계를 포함하는 팔라듐-구리-니켈 합금 수소분리막의 제조방법을 제공한다.본 발명은 고온 스퍼터 공정을 사용하여 다공성 니켈 금속 지지체 상에 팔라듐 및 구리 금속층의 두께를 조절하여 향후 저온 리플로우 열처리에 의해 각 상용화 운전온도에서 안정화된 포화 합금조성을 갖는 분리막을 제조하여 수소정제 및 분리의 장기간 운전조건 하에서 최종 합금조성 변이를 최소화시켜 지지체와 코팅층과의 접합력을 증진시키고, 고온 내구성을 향상 시키고, 치밀한 결정구조의 팔라듐 합금분리막을 형성하여 높은 수소투과, 분리도를 유지시킨다.팔라듐-구리-니켈 합금, 수소분리막, 경사기능성
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C01B 3/38 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) B01D 71/00 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020090121865 (2009.12.09)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1155998-0000 (2012.06.07)
공개번호/일자 10-2011-0065038 (2011.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20120620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.09)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종수 대한민국 대전광역시 서구
2 김동원 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 황경란 대한민국 대전광역시 서구
4 이춘부 대한민국 대전광역시 유성구
5 박용준 대한민국 서울특별시 서초구
6 이민수 대한민국 서울특별시 영등포구
7 강승민 대한민국 경기도 수원시 장안구
8 심병철 대한민국 경기도 의정부시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0760714-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0078421-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0666551-96
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0038285-25
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0038301-79
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0279854-82
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0402170-78
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2012.05.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0402171-13
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2012.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0325809-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
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번호 청구항
1 1
나노 니켈 파우더를 사용하여 다공성 니켈 금속지지체를 형성하는 단계;다공성 니켈 금속지지체를 미세연마 및 플라즈마 표면개질하는 표면처리 단계;상기 다공성 니켈 금속지지체 상에 스퍼터 공정으로 팔라듐＼구리코팅 두께비를 조절하여 포화 조성 중량분율의 팔라듐층 및 금속층을 형성하는 단계; 및 상기의 팔라듐층과 금속층을 리플로우 열처리하여 포화조성의 팔라듐 합금 분리막을 형성하는 단계를 포함하되; 팔라듐중량분율 대 합금(구리+니켈)중량분율비가 500℃ 온도에서 80±5wt％ : 20±5wt％를 만족하도록 하고, 또한 450℃ 온도에서 90±5wt％ : 10±5wt％를 만족하도록 하고, 그 중간온도에서는 각각의 비가 비례하여 중간 조성영역을 만족하도록 하는 것을 특징으로 하는 팔라듐-구리-니켈3원계 합금 수소분리막의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 수소 투과 선택성을 유지하면서 500℃ 이하의 온도에서 내구성을 갖는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 500℃ 온도에서 포화조성의 팔라듐 합금 분리막을 사용하기 위해 팔라듐 중량분율 대 합금(구리+니켈)의 중량분율비는 75:25에서 85:15로 유지되는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 스퍼터 공정은 팔라듐＼구리 코팅 두께비를 80＼20～75＼25 비율의 범위에서 코팅한 후 600～650℃ 온도구간에서 2시간～5시간 동안 구리 리플로우 열처리하여 500℃의 포화조성을 만족시키는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 분리막의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 팔라듐 스퍼터 공정은 30W～50W의 직류 전원, 20sccm～50sccm의 아르곤 가스, 1
8 8
제1항에 있어서, 수소 환원 분위기의 진공 가열로에서 760torr(상압) 내지 1
9 9
제1항에 있어서, 팔라듐 합금 분리막은 구리중량분율이 증가할수록 발생되는 구리응집물(Cu Agglomeration)을 650℃ 이하의 온도에서 2시간 이상 구리 리플로우 열처리하여 구리응집물을 제거하여 평탄화하는 것을 특징으로 하는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 구리 리플로우 열처리 공정에 의해 다공성 니켈 지지체와 팔라듐 합금 분리막의 각 성분들의 열적확산에 의해 다공성 니켈 지지체와 팔라듐＼구리 코팅층과의 접착력이 증진되는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 600℃ 이상의 온도에서 과포화된 팔라듐 합금 수소분리막은 600℃ 이하의 온도에서도 안정적으로 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막의 제조방법
12 12
청구항 제1항, 제3항 내지 제5항, 제7항 내지 제11항 중에서 선택된 어느 한 항의 방법에 의해 제조한 팔라듐-구리-니켈 3원계 합금 수소분리막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.