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절연기기에 연결되어 SF6를 회수 및 가압하는 회수부와, 상기 회수부에 연결돼서 회수된 SF6를 액화저장하는 저장부와, 상기 저장된 SF6로부터 불순물을 제거하여 농축된 SF6를 상기 회수부로 피드백시키는 정제부를 포함하고,상기 정제부는 중공사 분리막과 VPSA(Vacuum Pressure Swing Adsorption)를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부에 대하여 상기 중공사 분리막과 상기 VPSA는 순서대로 직렬배치되는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부는 SF6를 저장하는 저장용기와, 상기 저장용기에 연결되어 SF6를 액화시키는 냉각기를 포함하고, 상기 저장용기의 내부에 형성된 가스층으로부터 피정제가스가 상기 정제부로 이동하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수장치
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제3항에 있어서, 상기 저장용기와 상기 정제부 사이에 정압장치를 설치하여 상기 정제부에 일정한 압력으로 피정제가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수장치
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제1항에 있어서, 상기 정제부에 의해서 농축된 절연가스를 상기 회수부에 포함되는 압축기보다 상류측으로 순환하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 절연가스 회수장치를 이용한 절연가스 회수방법에 있어서, 절연가스를 회수를 개시하기 전에 상기 절연가스 회수장치 내에 공기를 진공제거 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 절연가스 회수장치를 이용한 절연가스 회수방법에 있어서, 상기 절연가스 회수장치를 정지시키기 전에 상기 절연가스 회수장치 내에 포함된 절연가스의 진공회수 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연가스 회수방법
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