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불순물 유입 방지 효과가 우수한 실리콘 용융 반응기 및 이를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015152811
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 또는 비금속에 대한 오염 문제를 해결함과 동시에 도핑량을 재현성 있게 제어할 수 있는 실리콘 용융 반응기 및 이를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 실리콘 용융 반응기는 상측이 개방되는 용기 형태를 갖는 흑연 도가니와, 상기 흑연 도가니의 내측에 결합되며 내부에 실리콘 원료가 장입되는 쿼츠 도가니를 갖는 이중 도가니; 및 상기 이중 도가니의 상측을 덮도록 장착하되, 단수 또는 복수의 관통 홀이 형성된 불순물 유입 방지 캡;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C01B 33/021 (2006.01) B01J 19/24 (2006.01) C30B 13/14 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01)
출원번호/일자 1020110056065 (2011.06.10)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1316689-0000 (2013.10.02)
공개번호/일자 10-2012-0136874 (2012.12.20) 문서열기
공고번호/일자 (20131010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.10)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진석 대한민국 대전광역시 중구
2 장보윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 안영수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0436947-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.02.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.03.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0017722-04
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0188347-78
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0432588-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0432589-76
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0665510-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상측이 개방되는 용기 형태를 갖는 흑연 도가니와, 상기 흑연 도가니의 내측에 결합되며 내부에 실리콘 원료가 장입되는 쿼츠 도가니를 갖는 이중 도가니; 및 상기 이중 도가니의 상측을 덮도록 장착하되, 단수 또는 복수의 관통 홀이 형성되며, 상기 쿼츠 도가니의 내경보다 크고 외경 보다 작은 크기의 직경을 가지는 불순물 유입 방지 캡;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
2 2
제1항에 있어서,상기 흑연 도가니는 내부 바닥면과 내벽을 연결하는 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
3 3
제2항에 있어서,상기 경사면은 흑연 도가니의 내부 바닥면에 대하여 3°이상의 기울기를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
4 4
제1항에 있어서,상기 이중 도가니는 내부 바닥면을 관통하는 토출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
5 5
제1항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 상기 이중 도가니의 상측을 커버하되, 상기 단수 또는 복수의 관통 홀이 형성된 캡 몸체와, 상기 캡 몸체를 상기 이중 도가니에 고정시키는 움직임 방지용 지지대를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
6 6
제5항에 있어서,상기 움직임 방지용 지지대는 상기 캡 몸체의 가장자리에 형성되어 상기 캡 몸체를 상기 이중 도가니에 고정시키는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 쿼츠 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
9 9
제1항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 C, SiC, Si3N4, BN, Al2O3, 및 Mo 중 어느 하나 이상의 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 반응기
10 10
상측이 개방되는 용기 형태를 갖는 흑연 도가니와 상기 흑연 도가니의 내측에 결합되는 쿼츠 도가니를 갖는 이중 도가니와, 상기 이중 도가니의 상측을 덮도록 장착하되 단수 또는 복수의 관통 홀이 형성되며, 상기 쿼츠 도가니의 내경보다 크고 외경 보다 작은 크기의 직경을 가지는 불순물 유입 방지 캡을 갖는 실리콘 용융 반응기; 상기 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕이 형성되도록 상기 실리콘 용융 반응기를 가열하는 실리콘 가열부; 상기 실리콘 용융 반응기로부터의 실리콘 용탕을 공급받아 저장한 후, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 출탕시키는 실리콘 용탕 저장부; 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측에 배치되며, 상기 출탕되는 실리콘 용융물을 이송하는 이송 기판; 및 상기 이송 기판으로 이송되는 실리콘 용융물을 냉각하여 실리콘 기판을 형성하는 실리콘 기판 형성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
11 11
제10항에 있어서,상기 실리콘 용융 반응기는 상기 이중 도가니의 내부 바닥면을 관통하는 토출구와, 상기 토출구를 개폐하는 게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
12 12
제10항에 있어서,상기 실리콘 가열부는 상기 실리콘 용융 반응기의 외측을 둘러싸는 내화물과, 상기 내화물에 장착되는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
13 13
제10항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 상기 이중 도가니의 상측을 커버하되, 상기 단수 또는 복수의 관통 홀이 형성된 캡 몸체와, 상기 캡 몸체를 상기 이중 도가니에 고정시키는 움직임 방지용 지지대를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
14 14
제13항에 있어서,상기 움직임 방지용 지지대는 상기 캡 몸체의 가장자리에 형성되어 상기 캡 몸체를 상기 이중 도가니에 고정시키는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
15 15
삭제
16 16
제10항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 쿼츠 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
17 17
제10항에 있어서,상기 불순물 유입 방지 캡은 C, SiC, Si3N4, BN, Al2O3, 및 Mo 중 어느 하나 이상의 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 주요사업 저가형 리본태양전지 기술개발