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태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015152867
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 잉곳을 절단하여 제조된 실리콘 블록의 절단면에 대하여 1차 연마가공 및 2차 경면가공 처리를 실시하여 표면결함을 최소화함으로써, 실리콘 웨이퍼의 박형화를 통해 실리콘 웨이퍼 생산성 향상과 더불어 파손률을 최소화할 수 있는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법은 실리콘 잉곳을 팔면체 형상으로 절단하여 실리콘 블록을 형성하는 단계; 상기 실리콘 블록의 절단면을 금속사 브러쉬를 이용한 1차 연마 처리로 연마가공 처리하는 단계; 상기 1차 연마 처리된 실리콘 블록의 절단면에 연마제를 도포하거나, 또는 연마제가 도포된 연마포를 이용한 2차 연마 처리로 경면가공 처리하는 단계; 상기 2차 연마 처리로 표면 거칠기를 조절한 실리콘 블록을 멀티 와이어 소를 이용하여 복수의 웨이퍼로 절단하는 단계; 및 상기 절단된 웨이퍼를 세척 및 건조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC B24B 9/065(2013.01) B24B 9/065(2013.01) B24B 9/065(2013.01)
출원번호/일자 1020130077078 (2013.07.02)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0004476 (2015.01.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.02)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장보윤 대한민국 대전 유성구
2 최선호 대한민국 대전 유성구
3 김준수 대한민국 대전 유성구
4 송희은 대한민국 인천 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0594503-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0423473-59
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0786618-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0902121-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0902120-69
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0137953-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2015.03.27 수리 (Accepted) 7-1-2015-0012192-89
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0415171-21
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2015.04.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0415174-68
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0325697-37
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2015.06.18 무효 (Invalidation) 7-1-2015-0027419-09
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 잉곳을 팔면체 형상으로 절단하여 실리콘 블록을 형성하는 단계; 상기 실리콘 블록의 절단면을 금속사 브러쉬를 이용한 1차 연마 처리로 연마가공 처리하는 단계; 상기 1차 연마 처리된 실리콘 블록의 절단면에 연마제를 도포하거나, 또는 연마제가 도포된 연마포를 이용한 2차 연마 처리로 경면가공 처리하는 단계; 상기 2차 연마 처리로 표면 거칠기를 조절한 실리콘 블록을 멀티 와이어 소를 이용하여 복수의 웨이퍼로 절단하는 단계; 및 상기 절단된 웨이퍼를 세척 및 건조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 실리콘 블록은 가로 : 125 ~ 323mm, 세로 : 125 ~ 323mm 및 높이 : 150 ~ 600mm의 직육면체 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 연마가공 처리 단계에서, 상기 1차 연마 처리는 금속사 브러쉬를 500 ~ 2,500rpm의 속도로 구동시키는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 연마가공 처리 단계에서, 상기 1차 연마 처리에 의해, 상기 실리콘 블록의 절단면은 평균 표면거칠기(Ra) : 0
5 5
제1항에 있어서,상기 경면가공 처리 단계에서, 상기 2차 연마 처리는 연마포를 200 ~ 5000rpm의 속도로 구동시키는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 경면가공 처리 단계에서, 상기 2차 연마 처리에 의해, 상기 실리콘 블록의 절단면은 평균 표면거칠기(Ra) : 0
7 7
제1항에 있어서,상기 경면가공 처리 단계에서, 상기 연마제는 연마용 미립제를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 연마제는 규사(SiO2), 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO), 실리콘카바이드(SiC) 및 다이아몬드(diamond) 중 1종 이상을 포함하고, 상기 연마제의 입경은 0
9 9
제1항에 있어서,상기 경면가공 처리 단계에서, 상기 연마포는 펄프(pulp), 펠트(felt) 및 벨크로(velcro) 연마포 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 절단 단계와 상기 세척 및 건조 단계 사이에, 상기 절단된 웨이퍼들을 예비 세척한 후, 가열수조에서 낱장의 웨이퍼로 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 절단 단계에서, 상기 웨이퍼 절단은 다중 와이어 쏘잉 절단 장치를 이용하여 절단하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 웨이퍼 절단은 슬러리 다중 와이어 절단(Slurry multi wire sawing) 또는 다중 다이아몬드 코팅 와이어 절단(diamond multi wire sawing)을 이용하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
13 13
제11항에 있어서,상기 웨이퍼는 결정질, 비정질, P-type 결정질 및 비정질, N-type 결정질 및 비정질 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
14 14
제1항에 있어서,상기 건조 및 세척 단계에서,상기 세척은 세척용 카트리지에 담긴 세척 용액과 혼합된 세척 용수 내에 침지시켜 1차 및 2차 초음파 세척하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 초박형 실리콘 웨이퍼 제조 방법
15 15
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 제조되어, 50 ~ 150㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼
16 16
제15항에 있어서,상기 웨이퍼는 결정질, 비정질, P-type 결정질 및 비정질, N-type 결정질 및 비정질 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 주요사업 (연구원 자체사업) 50 미크론 초박형 실리콘 태양전지 사업화 미래원천기술 개발