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실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기

  • 기술번호 : KST2015152906
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기가 제공된다.본 발명은 나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은 나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인; 상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기; 상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 상기 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부; 상기 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 나노입자 포집시스템은 캐리어 가스와 함께 유입되는 나노입자를 하나의 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 용기에 포집시킨다. 따라서, 일정 수준의 나노입자가 포집된 나노입자 용기는 유입시스템으로부터 분리되어, 포집/보관된 증착 시스템에 나노입자를 제공한다. 이때 나노입자의 외부 노출은 없기 때문에, 외부물질에 의한 나노입자 오염을 방지하며, 공정에 따라 복수 개의 나노입자 용기를 사용, 연속적인 나노입자 증착이 가능하다.
Int. CL B01D 46/00 (2006.01) B01D 46/10 (2006.01) B01D 46/54 (2006.01)
CPC B01D 46/54(2013.01) B01D 46/54(2013.01) B01D 46/54(2013.01) B01D 46/54(2013.01)
출원번호/일자 1020110084785 (2011.08.24)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1291966-0000 (2013.07.25)
공개번호/일자 10-2013-0022487 (2013.03.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130809) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.24)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정철 대한민국 대전광역시 유성구
2 송진수 대한민국 대전광역시 유성구
3 박주형 대한민국 대전광역시 유성구
4 송희은 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0659344-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0092445-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0006511-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0174165-46
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0173922-24
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0174166-92
9 등록결정서
Decision to grant
2013.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0495280-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은 나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인; 상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기; 상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 상기 나노입자 포집/보관 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부; 상기 나노입자 포집/보관 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 나노입자 포집/보관 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
2 2
제 1항에 있어서, 상기 나노입자 포집/보관 용기의 내부 공간은 상기 필터 스크린에 의해 제 1 공간과, 상기 제 1 공간보다 위에 위치하는 제 2 공간으로 분획하는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
3 3
제 2항에 있어서, 상기 나노입자 유입부는 아래쪽의 제 1 공간에 구비되고, 상기 캐리어가스 배출부는 위쪽의 제 2 공간에 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
4 4
제 3항에 있어서, 상기 나노입자 포집/보관 용기 내의 제 1 공간으로 유입된 나노입자는 상기 필터 스크린에 의하여 상기 제 2 공간으로 이동되지 못하며, 상기 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 상기 필터 스크린을 지나 제 2 공간으로 이동되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
5 5
제 4항에 있어서, 상기 나노입자 유입부, 캐리어가스 배출부에는 각각 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
6 6
제 1항에 있어서, 상기 나노입자 포집/보관 용기에는 상기 나노입자를 외부로 배출시킬 수 있는 나노입자 배출부가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
7 7
제 1항에 있어서, 상기 나노입자 유입라인으로부터 분기된 각각의 개별 라인이 상기 복수 개의 나노입자 포집/보관용기의 나노입자 유입부(11)에 각각 체결되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
8 8
제 1항에 있어서, 상기 나노입자 포집/보관용기는 상기 나노입자 유입라인 및 캐리어가스 배출라인으로부터 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템
9 9
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 나노입자 포집시스템에 사용되는 나노입자 포집/보관 용기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 신재생에너지기술개발사업 고효율 고안정성 실리콘계 나노입자 박막 태양전지 원천기술 개발