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팔라듐-은 합금 확산방지막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015152907
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 팔라듐-은 확산 방지막의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 미세금속파우더를 사용하여 다공성 금속지지체 제조 및 다공성 금속지지체의 표면 미세연마와 플라즈마 표면개질을 표면처리 한 후에 고온스퍼터방식을 사용하여 팔라듐 금속층 및 은 금속층의 두께비를 조절하여 연속적인 다층 코팅형성과 저온열처리에 의해 경사기능적 조성을 갖는 팔라듐-은 합금 확산방지막을 제조한다.본 발명은 높은 수소투과 선택성과 동시에 고온에서 장기간 동안 금속지지체의 금속성분원소들의 열적 확산을 최소로 하여 수소분리막의 파괴 없이 고온내열성을 향상시키는 초박막의 치밀한 미세구조를 갖는 팔라듐-은 합금 확산방지 막을 제공한다. 팔라듐-은 합금, 확산방지막, 수소투과ㆍ선택성, 수소분리막
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020090124143 (2009.12.14)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1271394-0000 (2013.05.30)
공개번호/일자 10-2011-0067526 (2011.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20130611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종수 대한민국 대전광역시 서구
2 김동원 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 황경란 대한민국 대전광역시 서구
4 이춘부 대한민국 대전광역시 유성구
5 강승민 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 우병일 대한민국 인천광역시 서구
7 안효선 대한민국 경기도 수원시 팔달구
8 신용건 대한민국 서울특별시 종로구
9 심병철 대한민국 경기도 의정부시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0771696-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0078438-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0713680-69
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0074260-28
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0074261-74
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0385005-55
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0704314-51
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0789330-07
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0789331-42
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0116412-27
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0203279-12
14 등록결정서
Decision to grant
2013.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0339423-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스테인리스강, 니켈금속 또는 바나듐금속 중에서 선택된 하나의 미세금속파우더를 사용하여 금속 다공성 금속지지체를 형성하는 단계;상기의 다공성 금속지지체를 미세연마 및 플라즈마 표면개질의 표면처리단계;상기의 표면처리된 다공성 금속지지체상에 스퍼터 공정으로 팔라듐(Pd) 금속코팅층 및 은(Ag) 금속코팅층을 반복 형성하여 팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 팔라듐/은(Pd/Ag) 합금 금속코팅층을 형성하는 단계 ; 및상기의 팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 합금 금속코팅층을 650℃ 이하 온도에서 2∼5시간 동안 열처리하여 팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 합금코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 팔라듐-은 합금 확산방지막의 제조방법
2 2
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3 3
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4 4
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5 5
제1항에 있어서,스퍼터를 사용하여 팔라듐 금속 코팅층 및 은 금속코팅층의 두께비를 조절하여 팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 팔라듐/은(Pd/Ag) 합금코팅층의 상부로서 다공성 금속지지체로부터 제일 위쪽에 형성된 팔라듐/은(Pd/Ag) 합금코팅층은 80±5wt
6 6
제1항에 있어서,팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 팔라듐/은(Pd/Ag) 합금 금속코팅층에서 다공성 금속지지체로부터 제일 위쪽에 형성되며, 수소분리막 기능을 갖도록 하는 팔라듐/은 합금 금속코팅층은 20±5wt
7 7
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8 8
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9 9
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10 10
제1항에 있어서,스퍼터로 형성되는 팔라듐/은/팔라듐/은의 다중 팔라듐/은(Pd/Ag) 합금코팅층에서 은 금속코팅층은 팔라듐 금속코팅층들의 중간위치에서 다중코팅으로 형성되는 것을 특징으로 하는 팔라듐-은 합금 확산방지막의 제조방법
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12 12
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13 13
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14 14
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.