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재사용이 가능한 실리콘 용융용 이중 도가니를 구비하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치

  • 기술번호 : KST2015152964
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이중 도가니 구조의 도입으로 1회성이 아닌 재사용이 가능한 실리콘 용융용 이중 도가니를 구비하는 실리콘 잉곳 성장 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 실리콘 용융용 이중 도가니를 구비하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치는 실리콘 원료가 장입되는 실리콘 용융용 이중 도가니; 상기 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕이 형성되도록 상기 실리콘 용융용 이중 도가니를 가열하는 도가니 가열부; 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 회전 및 승강 운동을 제어하는 도가니 구동부; 및 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 상측에 배치되며, 상기 실리콘 용탕에 딥핑된 씨드 결정을 인상하여 실리콘 잉곳을 성장시키는 인상 구동부;를 포함하되, 상기 실리콘 용융용 이중 도가니는 상측이 개방되는 용기 형태로 이루어지며, 내부 바닥면과 내벽을 연결하는 경사면을 구비하는 흑연 도가니 및 상기 흑연 도가니의 내측에 끼움 결합되며, 내부에 상기 실리콘 원료가 장입되는 쿼츠 도가니를 갖는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C04B 35/52 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/12 (2006.01) C30B 15/30 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110044753 (2011.05.12)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1265154-0000 (2013.05.10)
공개번호/일자 10-2012-0126731 (2012.11.21) 문서열기
공고번호/일자 (20130527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.12)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진석 대한민국 대전광역시 중구
2 장보윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 안영수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0352249-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.27 수리 (Accepted) 9-1-2012-0074941-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0733316-68
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0013959-05
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0013957-14
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0319354-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 원료가 장입되는 실리콘 용융용 이중 도가니; 상기 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕이 형성되도록 상기 실리콘 용융용 이중 도가니를 가열하는 도가니 가열부; 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 회전 및 승강 운동을 제어하는 도가니 구동부; 및 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 상측에 배치되며, 상기 실리콘 용탕에 딥핑된 씨드 결정을 인상하여 실리콘 잉곳을 성장시키는 인상 구동부;를 포함하되, 상기 실리콘 용융용 이중 도가니는 상측이 개방되는 용기 형태로 이루어지며, 내부 바닥면과 내벽을 연결하는 경사면을 구비하는 흑연 도가니 및 상기 흑연 도가니의 내측에 끼움 결합되며, 내부에 상기 실리콘 원료가 장입되는 쿼츠 도가니를 갖는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 도가니 가열부는 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 외벽을 둘러싸는 코일을 갖는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 인상 구동부는 씨드 결정을 고정시키는 씨드 결정 고정 축과, 상기 씨드 결정 고정 축과 연결되어 상기 씨드 결정 고정 축의 회전 및 승강 운동을 제어하는 고정 축 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 도가니 구동부는 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 하측을 지지하는 지지 척과, 상기 지지 척의 회전 및 승강 운동을 제어하는 지지 척 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 흑연 도가니는 벽면의 일부가 종 방향으로 절개된 복수의 슬릿을 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 흑연 도가니는 내부 바닥면을 관통하는 토출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 흑연 도가니의 경사면은 흑연 도가니의 내부 바닥면에 대하여 3°이상의 기울기를 갖는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
8 8
제1항에 있어서,상기 쿼츠 도가니는 적어도 2회 이상 재사용되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
9 9
제1항에 있어서,상기 쿼츠 도가니는 흑연 도가니와 실리콘 원료가 접촉되는 것이 차단되도록 상기 흑연 도가니와 대응되는 표면적을 갖는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
10 10
제6항에 있어서,상기 실리콘 잉곳 성장 장치는 상기 실리콘 용융용 이중 도가니와 도가니 구동부 사이에 배치되어 상기 토출구를 개폐하는 게이트 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치
11 11
제1항 내지 제10항 중 어느 하나의 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치를 이용하여 제조되는 단결정 실리콘 잉곳을 슬라이싱(slicing)하여 형성되되, 상기 실리콘 용융용 이중 도가니의 재사용 횟수와 무관하게 비교적 균일한 면저항을 갖는 단결정 실리콘 웨이퍼
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP05425858 JP 일본 FAMILY
2 JP24236755 JP 일본 FAMILY
3 US09040010 US 미국 FAMILY
4 US20120288432 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2012236755 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP5425858 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2012288432 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9040010 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 주요사업 저가형 리본태양전지 기술개발