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경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치

  • 기술번호 : KST2015152970
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치에 관한 것으로서, 상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 진공 분위기를 유지하는 진공챔버, 상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부, 입자형태의 실리콘원료가 장입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부, 하부에 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 상기 실리콘용탕을 응고시키는 냉각채널이 형성되며 동일한 단면적을 가지는 용탕투입부 및 상기 용탕투입부의 하부에 연결되며 하부방향의 단면적이 증가하도록 경사지게 형성된 용탕안내부를 포함하는 일방향응고부 및 상기 일방향응고부 내부에 구비되는 실리콘버튼 및 상기 실리콘버튼 하면에 접합되어 상기 실리콘버튼을 이동시키는 더미바를 가지는 스타트블럭을 포함한다.
Int. CL B01J 19/08 (2006.01) C01B 33/021 (2006.01) C01B 33/02 (2006.01)
CPC C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01)
출원번호/일자 1020120035451 (2012.04.05)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1396478-0000 (2014.05.12)
공개번호/일자 10-2013-0113119 (2013.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (20140519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.05)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진석 대한민국 대전 유성구
2 안영수 대한민국 대전 유성구
3 장보윤 대한민국 대전 유성구
4 김준수 대한민국 대전 유성구
5 이준규 대한민국 대전 서구
6 노종진 대한민국 충북 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0273071-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.22 수리 (Accepted) 9-1-2013-0020432-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0663974-49
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1075367-41
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1188725-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1188736-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
9 등록결정서
Decision to grant
2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0290649-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 분위기를 유지하는 진공챔버;상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부;입자형태의 실리콘원료가 장입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부;하부에 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 상기 실리콘용탕을 응고시키는 냉각채널이 형성되며 동일한 단면적을 가지는 용탕투입부 및 상기 용탕투입부의 하부에 연속적으로 연결되어 하부방향의 단면적이 증가하도록 경사지게 형성된 용탕안내부를 포함하며, 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 상기 실리콘용탕이 상기 용탕투입부와 상기 용탕안내부의 경계부분에서 고체와 액체의 중간상태가 되고 용탕안내부 상부에서 응고되는 일방향응고부; 및상기 일방향응고부 내부에 구비되는 실리콘버튼 및 상기 실리콘버튼 하면에 접합되어 상기 실리콘버튼을 이동시키는 더미바를 가지는 스타트블럭; 을 포함하여 구성되는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 스타트블럭은,상기 실리콘용탕이 상기 용탕안내부에서 응고되면서 하강하도록 상기 실리콘용탕의 응고속도에 대응되는 속도로 하강하는 것을 특징으로 하는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
4 4
제1항에 있어서,상기 실리콘용융부는,복수 개로 구성되는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
5 5
제1항에 있어서,상기 전자빔조사부는,상기 일방향응고부의 상부에 전자빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
6 6
제1항에 있어서,상기 전자빔조사부는,복수 개로 구성되어 상기 실리콘용융부 및 상기 일방향응고부에 전자빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
7 7
제1항에 있어서,상기 실리콘용융부는,하부에 냉각 채널이 형성된 구리 재질의 주조 용기를 구비하는 것을 특징으로 하는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
8 8
제1항에 있어서,상기 일방향응고부는,하부에 냉각 채널이 형성된 구리 재질의 주조 용기를 구비하는 것을 특징으로 하는 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.