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도금을 이용한 태양전지 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015152973
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양 전지 제조 기술에 관한 것으로서, 더 상세하게는 태양전지의 금속 배선 공정에 있어서 도금액에 HF를 추가해서 공정을 줄이는 태양 전지 제조 방법에 대한 것이다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0224 (2006.01)
CPC H01L 31/182(2013.01) H01L 31/182(2013.01)
출원번호/일자 1020140058279 (2014.05.15)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1541422-0000 (2015.07.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150803) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.15)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송희은 대한민국 인천광역시 중구
2 강민구 대한민국 대전광역시 중구
3 강기환 대한민국 대전광역시 유성구
4 정운석 대한민국 경기도 안산시 단원구
5 이덕행 대한민국 경기도 부천시 소사구
6 김주영 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0456500-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0266205-81
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0026085-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0594698-78
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0594699-13
8 등록결정서
Decision to grant
2015.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0492767-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도금을 이용한 태양 전지 제조 방법에 있어서,반도체 기판을 준비하는 단계;준비된 반도체 기판의 표면상에 레지스트 코팅층을 형성하는 단계;형성된 레지스트 코팅층을 레지스트 패터닝하는 단계; 및도금액을 이용하여 에칭과 동시에 도금을 수행하고 레지스트 코팅층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 도금액은 불화 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 도금액은 산성 또는 염기성 용액인 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 레지스트 코팅층은 도금 레지스트(plating resist) 또는 포토 레지스트인 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
5 5
제 2 항에 있어서,상기 불화 수소에 의해 절연층이 에칭되고 실리콘 표면에 도금이 이루어지는 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 절연층은 반사 방지막층, 패시베이션층 및 유전체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 절연층은 SiNx로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
8 8
제 2 항에 있어서,불화 수소는 도금액의 pH 조절을 위해 첨가되는 것을 특징으로 하는 도금을 이용한 태양 전지 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 호진플라텍(주) 신재생에너지융합원천기술개발사업 Silver와 Cyanide를 사용하지 않는 결정질 Si 태양전지용 Ni/Cu전극 소재 및 장비개발